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目前，中國天地衛星股份有限公司引進英國Senstronics公司研制生產的濺射薄膜壓 力傳感器，為壓力傳感器領域增加新亮點。 英國Senstronics公司近年來推出的濺射薄膜壓力敏感元件及其壓力傳感器，在國際上是領 先的，具有前沿性技術水準。它延用了測量壓力的金屬彈型膜片原理，再注入新的離子束濺 射等先進工藝手段和微機械加工方法，制成敏感壓力的橋路電阻，使它具有如下特點： 1、不銹鋼類型的彈性膜片材料（17-4PH）耐腐蝕；無隔離膜片，不用灌油充液，體積小， 質量輕； 2、沒有PN結帶來的高、低溫誤差大和工作溫區小的問題； 3、不受原始貼片方法帶來的蠕變、老化缺陷的影響，測量壓力穩定性好。 歸納起來，這種濺射薄膜壓力敏感元件及其壓力傳感器的優點為寬的工作溫度范圍（敏感元 件為-40~+200C，整機為-40~+150C），溫度漂移小0.001%C；測量壓力范圍寬 （0.7MPa~220MPa）；體積小（敏感膜片直徑僅為Φ7mm），金屬一體化結構，結實可靠；測 量精度可達0.05%（包括非線性、遲滯和重復性）；在-40~+150C工作條件下精度為± 0.25%；高穩定性，（1000萬次壓力循環，其漂移量< 0.1%）；過裁壓力為1.4~2.2倍。 利用這種壓力敏感元件可制成適用工業各領域使用的壓力傳感器。特別是它的高可靠性，高 穩定性，寬溫度范圍和小體積輕質量的特點，更適用于航天、航空、坦克、兵器、艦船等軍 事部門，它的批量生產能力，亦適用于大量使用的汽車工業。它的耐腐蝕性能力，可為石 油、化工行業測量壓力服務。 |
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