FFU及干冷盤管的選擇以及在潔凈廠房工程實際案例應(yīng)用

FFU及干冷盤管的選擇及其應(yīng)用

FFU(風機過濾器單元)

FFU是近年普通應(yīng)用在單向流和混合流中的重要凈化設(shè)備。它是有標準模數(shù)尺寸（1200x600mm，600x600mm，1200x1200mm等）的風機和過濾器（高效過濾器、超高效過濾器）的組合體做為潔凈室的終端設(shè)備，分散或集中地布置在潔凈廠房的吊頂上。為了保證潔凈廠房的室內(nèi)參數(shù)，它經(jīng)常與干冷盤管和新風機組配合使用。

FFU示意圖如下

FFU就其性能而言，又可分為 標準型 和 高靜壓型 。

標準型機組的機外靜壓為50Pa，高靜壓型機組的機外靜壓為120Pa。

對于高靜壓型其機組的性能參數(shù)最好是：

a、斷面平均風速為0.45m/s，而出風速度的均勻性應(yīng)為平均風速的±15%。

b、FFU的機外余壓應(yīng)≥120Pa，最好是140Pa以上。 c、FFU的單體噪聲應(yīng)≤50dB(A)。因在單向流潔凈廠房中往往成百臺上千臺的FFU集中設(shè)在吊頂上，如果單體噪聲太高，則疊加噪聲就不能被接受。 d、斷面風速可調(diào)。智能化調(diào)節(jié)，變頻調(diào)節(jié)都是可行的。 e、FFU風機的壽命最少應(yīng)大于50000小時。 對于大面積、高潔凈度的微電子和光電子的凈化廠房，使用大量的FFU時應(yīng)注意，有可能會產(chǎn)生電流的諧波。諧波會影響用電的生產(chǎn)設(shè)備的使用。建議在供電線路上增設(shè)濾波器。

干冷盤管

干冷盤管是新風機組加干冷盤管加FFU空調(diào)凈化送風方案的潔凈廠房控制溫度的關(guān)鍵換熱設(shè)備，設(shè)置在潔凈廠房回風夾道的下部或上部。

對其性能要求如下：

a、 為了避免在系統(tǒng)正常運行時干冷盤管產(chǎn)生結(jié)露現(xiàn)象，因此通過干冷盤管的進水水溫要高于室內(nèi)空氣露點1°C~2°C。 b、 為了導(dǎo)走潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)啟動時產(chǎn)生的冷凝水，干冷盤管系統(tǒng)還要設(shè)置滴水盤和排水系統(tǒng)。 c、干冷盤管的排數(shù)最好為雙排，而且空氣通過時阻力不能太大，一般來說干冷盤管的空氣通過時阻力應(yīng)小于40Pa，因此盤管鋁翅片的間距最好為3mm。 d、為了減少空氣通過盤管的阻力，通過盤管的風速應(yīng)<2m/s。 e、干冷盤管的水管采用并聯(lián)方式聯(lián)接。 f、干冷盤管周圍的空隙應(yīng)全部封閉，使循環(huán)空氣全部通過干冷盤管。

某電子廠房凈化空調(diào)安裝經(jīng)驗

空調(diào)形式選擇

以某電子廠房為例。該工程廠房為單層鋼結(jié)構(gòu)，總建筑面積約14?500?m2?凈化空調(diào)面積6?880?m2(不含參觀走廊及輔助區(qū))。 根據(jù)工藝要求，潔凈區(qū)潔凈度分別為萬級、千級、百級，百級面積270?m2，千級面積?5?960?m2，萬級面積650?m2溫濕度要求為22士2?度和55%士5%,百級按照?面風速0.25m/s計算風量，千級和萬級的換氣次數(shù)則為80次/h和35次/h。

整個廠房分為3種凈化級別，分別為萬級、千級、百級，萬級區(qū)主要為鍍膜機室，千級區(qū)有絲印車間、模組/貼膜車間、千級高架區(qū)、千級未高架區(qū)，百級有鍍膜車間、絲網(wǎng)制作房。 其中，千級高架區(qū)、百級高架區(qū)、千級未高架區(qū)、百級未高架區(qū)均采用MAU?+?FFU?+?DC的空調(diào)形式，而絲印、模組、貼膜車間等千級區(qū)和鍍膜機室等萬級區(qū)則采用AHU+?FFU的空調(diào)形式。 MAj為新風機組，對新風實施了初效、中效、亞高效過濾，其功能段為新風、回風混合段、G4初效段、F8中效段、冷水盤管段、熱水盤管段、電極加濕段、風機段、均流段、H10亞高效段、送風段。 DC為干表冷盤管，在潔凈室的回風夾墻中設(shè)置干冷盤管，對潔凈室進行等濕降溫，所以通過干盤管的冷凍水溫度稍低于潔凈室的露點溫度，保證潔凈室空氣通過干盤管時不結(jié)露。 FFU為風機過濾器機組，在潔凈室的技術(shù)夾層布置?FFU?,將送進來的空氣通過FFU中的高效過濾器送到潔凈室內(nèi)。 AHU為凈化空調(diào)機組，全部的凈化空調(diào)送風均在凈化空調(diào)機組內(nèi)進行凈化和熱、濕處理，然后送至潔凈室，潔凈室的回風經(jīng)回風日、回風管再接回到空調(diào)機房的凈化空調(diào)機組，與新風混合后重復(fù)進行凈化和熱、濕處理。

MAU+FFU+DC的凈化空調(diào)送風方案

新風機組MAU將新風處理到潔凈室熱濕比線與相對濕度95%線的交點以下，不僅將本身的濕負荷去掉，還負擔潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的濕負荷。 而MAj熱處理不足部分的干冷負荷將由設(shè)在潔凈室下夾層或吊頂上的干盤管來補充。 由于干盤管設(shè)在FFU循環(huán)空氣通過的吊頂上或夾道內(nèi)，因此，干盤管所彌補的干冷負荷被循環(huán)空氣帶到潔凈室內(nèi)。 此方案中，潔凈室的相對濕度由MAU來保證，潔凈室的溫度由DC來保證，潔凈室的潔凈度由FFU來保證。

AHU+FFU的凈化空調(diào)送風方案

此方案中，凈化空調(diào)系統(tǒng)的熱、濕負荷(潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的熱、濕負荷及新風的熱、濕負荷)全部由設(shè)在空調(diào)機房內(nèi)的空調(diào)機組AHU來負擔。 AHU的送風量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風量(其中包括全部新風和部分回風，但遠遠小于保證潔凈室潔凈度等級的凈化送風量)，它應(yīng)能確保潔凈室內(nèi)的溫度和相對濕度恒定。 而該潔凈室的潔凈度由設(shè)在潔凈室吊頂上的FFU來保證。 此方案中應(yīng)該注意的是，F(xiàn)FU運行過程中所產(chǎn)生的熱量也應(yīng)由AHU來承擔。

自動控制系統(tǒng)

本期工程 采用DDC控制系統(tǒng)，并且與機房總站連接，可以實現(xiàn)局部調(diào)控和機房總站對運行狀態(tài)的控制和觀測。 潔凈室中的干冷盤管共分為巧組，每一組采用一個比例積分閥控制，每組所對應(yīng)的區(qū)域溫度采用多點檢測，采集多點的溫度，取平均PID值控制比例積分的開啟度，調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度。 濕度也采用多點檢測控制，采集多點的濕度，取平均的PID值來控制新風機組或空調(diào)機組冷凍水電動比例積分閥的開啟度，或者控制電極加濕閥門的開啟度，從而將潔凈室的濕度控制在設(shè)計范圍內(nèi)。

新風機組和空調(diào)機組采用變頻控制，根據(jù)潔凈室實際使用情況，通過電動風閥的開與關(guān)，檢測風管內(nèi)的壓力參數(shù)，控制風機轉(zhuǎn)速，調(diào)整新風量，達到節(jié)約能源的目的。

來源：cleanroom、潔凈技術(shù)與應(yīng)用、精亞潔凈工程 

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