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    技術(shù)前沿:CCD、COMS圖像傳感器——機(jī)器視覺(jué)之眼

     新用戶0118F7lQ 2021-09-11

    圖像傳感器的定義及分類

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    圖像傳感器是一種將光學(xué)圖像轉(zhuǎn)換成電子信號(hào)的設(shè)備,它被廣泛地應(yīng)用于數(shù)碼相機(jī)和其他電子光學(xué)設(shè)備中。早期的圖像傳感器采用模擬信號(hào),如攝像管,隨著數(shù)碼技術(shù)、半導(dǎo)體制造技術(shù)以及網(wǎng)絡(luò)的迅速發(fā)展,市場(chǎng)和業(yè)界都面臨著跨越各平臺(tái)的視訊、影音、通訊大整合時(shí)代的到來(lái),勾劃著未來(lái)人類的日常生活的美景。

    圖像傳感器上有許多感光單元,它們可以將光線轉(zhuǎn)換成電荷,從而形成對(duì)應(yīng)于景物的電子圖像。而在傳感器中,每一個(gè)感光單元對(duì)應(yīng)一個(gè)像素(Pixels),像素越多,代表著它能夠感測(cè)到更多的物體細(xì)節(jié),從而圖像就越清晰,像素越高,意味著成像效果越清晰。圖像傳感器是利用光電器件的光電轉(zhuǎn)換功能將感光面上的光像轉(zhuǎn)換為與光像成相應(yīng)比例關(guān)系的電信號(hào)。與光敏二極管,光敏三極管等“點(diǎn)”光源的光敏元件相比,圖像傳感器是將其受光面上的光像,分成許多小單元,將其轉(zhuǎn)換成可用的電信號(hào)的一種功能器件。

    圖像傳感器產(chǎn)品主要分為CCD、CMOS傳感器兩種。

    高性能CCD圖像傳感器

    CCD(ChargedCoupled Device)是指電荷耦合器件,是一種用電荷量表示信號(hào)大小,用耦合方式傳輸信號(hào)的探測(cè)元件,具有自掃描、感受波譜范圍寬、畸變小、體積小、重量輕、系統(tǒng)噪聲低、功耗小、壽命長(zhǎng)、可靠性高等一系列優(yōu)點(diǎn),并可做成集成度非常高的組合件。

    CCD是使用一種高感光度的半導(dǎo)體材料集成,它能夠根據(jù)照射在其面上的光線產(chǎn)生相應(yīng)的電荷信號(hào),在通過(guò)模數(shù)轉(zhuǎn)換器芯片轉(zhuǎn)換成“0”或“1”的數(shù)字信號(hào),這種數(shù)字信號(hào)經(jīng)過(guò)壓縮和程序排列后,可由閃速存儲(chǔ)器或硬盤(pán)卡保存即收光信號(hào)轉(zhuǎn)換成計(jì)算機(jī)能識(shí)別的電子圖像信號(hào),可對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量、分析。 

    1969年,沃勒德?保爾(Willard Boyle)與喬治?艾沃德?史密斯(George E. Smith)于美國(guó)電報(bào)電話公司的貝爾實(shí)驗(yàn)室(AT&T Bell Labs)發(fā)明了電荷耦合組件(Charge Coupled Device,CCD)。1970年,二人把記述CCD發(fā)明的技術(shù)文章提交到《貝爾系統(tǒng)技術(shù)期刊》(Bell System Technical Journal)。他們開(kāi)發(fā)CCD的原意是把它用于建構(gòu)內(nèi)存裝置。不過(guò),保爾和史密斯1970年的研究出版后,其它科研人員開(kāi)始把有關(guān)技術(shù)試作于其它方面的應(yīng)用。天文學(xué)家發(fā)現(xiàn)CCD具有相較攝影膠片高100倍的感光能力,因而可以用于拍攝高分辨率的遙距圖像。

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    CCD圖像傳感器是按一定規(guī)律排列的MOS(金屬—氧化物—半導(dǎo)體)電容器組成的陣列。在P型或N型硅襯底生長(zhǎng)一層很薄(約120NM)的二氧化硅,再在二氧化硅薄層上依次序沉積金屬或摻雜多晶硅電極(柵極),形成規(guī)則的MOS電容器陣列,再加上兩端的輸入及輸出二極管就構(gòu)成了CCD芯片。

    【基本結(jié)構(gòu)】

    CCD基本結(jié)構(gòu)分為兩部分:

    1.MOS(金屬—氧化物—半導(dǎo)體)光敏元陣列

    電荷耦合器件是在半導(dǎo)體硅片上制作成百上千(萬(wàn))個(gè)光敏元,一個(gè)光敏元又稱一個(gè)像素,在半導(dǎo)體硅平面上光敏元按線陣或面陣有規(guī)則地排列。MOS電容器是構(gòu)成CCD的最基本單元。

    2.讀出移位寄存器

    【電荷耦合器件的工作原理】

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    【分辨率】

    分辨率是指CCD有多少像素,也就是CCD上有多少感光組件,分辨率是圖像傳感器的重要特征。(像素 分辨率長(zhǎng)寬數(shù)值相乘,如:640X480=307200,就是30W像素)

    CCD分辨率主要取決于CCD芯片的像素?cái)?shù)。

    其次,還受到傳輸效率的影響。高度集成的光敏單元可以獲得高分辨率。但光敏單元的尺寸的減少將導(dǎo)致靈敏度的降低。

    【CCD圖像器件結(jié)構(gòu)】

    CCD作為圖像敏感器使用時(shí),其基本結(jié)構(gòu)及工作方式有以下三種:

    1.線陣CCD

    圖像從垂直于器件像元排列的方向掃描以記錄在線陣的CCD上,讀出時(shí),每個(gè)成像的CCD像元,將電荷包轉(zhuǎn)移到移位寄存器的一個(gè)單元(一個(gè)字,而不是一位),沿水平方式快速讀出。

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    2.面陣幀轉(zhuǎn)移CCD

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    成像單元與移位單元整幀地分開(kāi)。在成像的積分時(shí)間內(nèi),CCD像元的一半面積記錄圖像,然后,在回掃時(shí)間內(nèi)快速轉(zhuǎn)移到擋光的另一半面積的像元(位移寄存單元)上。對(duì)后一半像元以常規(guī)視頻速率讀出的同時(shí),下一幀圖像的積分開(kāi)始進(jìn)行。

    3.面陣行轉(zhuǎn)移CCD

    每?jī)尚谐上駟卧g都夾有一行不透明的移位寄存單元,在成像時(shí)間內(nèi),傳輸門(mén)關(guān)閉,電荷包在成像單元上積分,不向寄存單元轉(zhuǎn)移,已轉(zhuǎn)移到寄存單元上的前一幀圖像以視頻速率讀出。當(dāng)傳輸門(mén)開(kāi)啟時(shí),每行成像單元存儲(chǔ)的圖像電荷同時(shí)轉(zhuǎn)移到對(duì)應(yīng)的行間讀出寄存器上。

    【信號(hào)傳輸原理圖】

    線陣CCD信號(hào)傳輸:

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    面陣CCD信號(hào)傳輸:

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    【CCD基本工作原理】

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    基本功能:電荷的存貯和轉(zhuǎn)移

    特點(diǎn):以電荷作為信號(hào)

    1.信號(hào)電荷的產(chǎn)生

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    2.信號(hào)電荷的存儲(chǔ)

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    當(dāng)金屬電極上加正電壓時(shí),由于電場(chǎng)作用,電極下P型硅區(qū)里空穴被排斥入地成耗盡區(qū)。對(duì)電子而言,是勢(shì)能很低的區(qū)域,稱“勢(shì)阱”。有光線入射到硅片上時(shí),光子作用下產(chǎn)生電子——空穴對(duì)空穴被電場(chǎng)作用排斥出耗盡區(qū),而電子被附近勢(shì)阱(俘獲),此時(shí)勢(shì)阱內(nèi)吸的光子數(shù)與光強(qiáng)度成正比。

    3.電荷轉(zhuǎn)移原理

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    CCD電荷耦合器件是以電荷為信號(hào);

    讀出位移寄存器也是MOS結(jié)構(gòu);

    有三個(gè)十分鄰近的電極組成一個(gè)耦合單元,在三個(gè)電極上分別施加脈沖波三相時(shí)鐘脈沖。

    4.電荷耦合信號(hào)輸出

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    CCD信號(hào)電荷的輸出的方式主要有電流輸出、電壓輸出兩種,以電壓輸出型為例:有浮置擴(kuò)散放大器(FDA)、浮置柵放大器(FGA)

    如Teledyne e2v CCD47-20 背照13.3 μm 像素1024 x 1024傳感器CCD是一個(gè)具有極高靈敏度的光子傳感器。一個(gè)CCD 會(huì)被分割成大量微小光敏單元(就是我們常說(shuō)的像素),以便用于整合成目標(biāo)畫(huà)面。一個(gè)光子來(lái)到某個(gè)像素的范圍時(shí),便會(huì)轉(zhuǎn)換成一個(gè)(或多個(gè))電子,而收集到的電子數(shù)量會(huì)與每個(gè)像素接收的光線強(qiáng)度成正比例。當(dāng)CCD時(shí)鐘輸出時(shí),每個(gè)像素內(nèi)的電子數(shù)目便會(huì)被測(cè)量出來(lái),以用于重建畫(huà)面。

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    CCD陣列切面圖

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    在集成級(jí),電荷通過(guò)電子云或電子斗采集到偏置電極。每個(gè)像素需要最少兩個(gè)電極用于控制這一電荷采集,不過(guò)科學(xué)設(shè)備一般會(huì)使用四個(gè)電極以便于優(yōu)化尖峰信號(hào)。
    在這區(qū)域里,電荷會(huì)與一個(gè)正向施加電壓一同采集。在具體工作中,電荷儲(chǔ)存于掩埋通道部分以避免與表面有接觸,而各個(gè)通道'行’之間則有通道阻絕層作分隔。上圖顯示了單個(gè)CCD像素的結(jié)構(gòu)。大量的像素組合起來(lái),便構(gòu)成一個(gè)成像設(shè)備,例如Teledyne e2v 的CCD290便具有8100萬(wàn)像素。下圖顯示的是一個(gè)3x3的像素陣列。
    帶電極和通道'行’的CCD陣列切面圖

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    用于控制CCD內(nèi)電子活動(dòng)的電極或門(mén)是以多晶硅(而不是金屬)制成,它的透明度能夠讓400 nm左右波長(zhǎng)的光線通過(guò)。由于所有像素都是一致而且通過(guò)同一端口讀出,所以能夠提供質(zhì)量均一的圖像。

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    讀出

    在大多數(shù)的CCD里,每個(gè)像素里的電極經(jīng)配置,電荷會(huì)沿著通道'行’向下轉(zhuǎn)移。因此,當(dāng)CCD時(shí)鐘工作時(shí),各個(gè)列會(huì)向下轉(zhuǎn)移到最后一行(即讀出記錄器),然后把每一像素的電荷轉(zhuǎn)移到CCD外部以便于測(cè)量。而在讀出記錄器里的電極經(jīng)配置,電荷會(huì)以水平方向在記錄器內(nèi)轉(zhuǎn)移。
    電荷從被采集到讀出,它是以每次一個(gè)電荷包的形式傳送到一個(gè)輸出放大器,在那里電荷會(huì)轉(zhuǎn)換為電壓。在讀出工作進(jìn)行時(shí),電極會(huì)在高電壓和低電壓之間交換偏置,以便于電荷沿著陣列向下轉(zhuǎn)移。
    下圖顯示單個(gè)轉(zhuǎn)移步驟的工作原理。在一個(gè)4相位架構(gòu)里,要把一個(gè)像素沿著陣列傳送到底部,便要進(jìn)行4次轉(zhuǎn)移。
    在某個(gè)相位的圖像范圍內(nèi)的所有電極都是互連的,所以要把電荷傳送到圖像范圍底部的讀出記錄器,只需要4個(gè)時(shí)鐘。每次只有一行電荷轉(zhuǎn)移到讀出記錄器。然后讀出記錄器會(huì)以相同的時(shí)鐘,每次讀出一個(gè)像素到輸出節(jié)點(diǎn),把電荷轉(zhuǎn)為電壓。下圖顯示了一個(gè)4x4像素三相位器件的工作原理:
    電荷轉(zhuǎn)移原理

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    由于整個(gè)陣列是通過(guò)單個(gè)放大器進(jìn)行閱讀,因而可以高度優(yōu)化輸出,盡可能減小噪聲并實(shí)現(xiàn)極高的動(dòng)態(tài)范圍。一般的CCD可以提供100dB 的動(dòng)態(tài)范圍以及小于2e的噪聲。
     一部CCD相機(jī)或儀器一般包含一個(gè)CCD芯片以及相關(guān)電子器件,這些相關(guān)器件是用于放大CCD上的小電壓、移除噪聲、數(shù)字化像素?cái)?shù)值,以及把每個(gè)像素的數(shù)值輸出到外部,例如是處理器。CCD是一個(gè)模擬器件,而模擬電壓數(shù)值會(huì)由相機(jī)的電子部件轉(zhuǎn)換為數(shù)字格式。
     讀出記錄器

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    Teledyne成像的傳感器的功能涵蓋從X光到超長(zhǎng)波紅外線的整個(gè)光譜范圍

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    硬X光/軟X光/真空紫外線/紫外線/可見(jiàn)光/短波紅外線/中波紅外線/長(zhǎng)波紅外線/超長(zhǎng)波紅外線
    硅/InAs/GaSb (T2SL)/HgCdTe (MCT)/去基板HgCdTe (MCT)/InSb/InGaAs/鍺(GE)/InAs/PbS/PbSe/SiAs/VOx
    Teledyne e2v可以提供多種成像工程元素周期表上的復(fù)合半導(dǎo)體材料,依照應(yīng)用需求提供合適技術(shù)解決方案。其具備的各種圖像傳感器技術(shù),包括從CCD、CMOS,到混合紅外ROIC數(shù)組和微測(cè)輻射熱計(jì),以及更多其它技術(shù)。
    CCD圖像傳感器在機(jī)器視覺(jué)領(lǐng)域應(yīng)用

    CCD是當(dāng)今圖像傳感器的主流技術(shù),也是技術(shù)最成熟、應(yīng)用最廣泛的可見(jiàn)光圖像傳感器,以其光譜響應(yīng)寬、動(dòng)態(tài)范圍大、靈敏度和幾何精度高、噪聲低、分辨力高、便于進(jìn)行數(shù)字化處理和與計(jì)算機(jī)連接等優(yōu)點(diǎn),應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴(kuò)展,其在工業(yè)測(cè)控中也得到了廣泛應(yīng)用。

    一、CCD的特點(diǎn)

    1、高解析度(High Resolution):像點(diǎn)的大小為m級(jí),可感測(cè)及識(shí)別精細(xì)物體,提高影像品質(zhì),從早期1寸、1/2寸、2/3寸、1/4寸到現(xiàn)在的1/9寸,像素?cái)?shù)目已從初期的10萬(wàn)多增加的千萬(wàn)像素,以后還有急需增加的趨勢(shì)。

    2、低噪聲(Low Noise)高敏感度:CCD具有很低的讀出噪聲和暗電流噪聲,因此有比較高的信噪比(SNR),同時(shí)具有高敏感度0.0003、0.00056LUX甚至0LUX低光度的入射光也能檢測(cè)到,其信號(hào)不會(huì)被噪聲掩蓋,所以CCD的應(yīng)用基本不受氣候限制。

    3、動(dòng)態(tài)范圍廣(High Dynamic Range):通過(guò)數(shù)字處理的CCD信號(hào),其動(dòng)態(tài)范圍可達(dá)到400%,專業(yè)級(jí)可達(dá)到600%,可同時(shí)適用于強(qiáng)光和弱光,提高系統(tǒng)環(huán)境的使用范圍,不因亮度差異大而造成信號(hào)反差現(xiàn)象。

    4、良好的線性特性曲線(Linearity):入射光源強(qiáng)度和輸出信號(hào)大小成良好的正比關(guān)系,能很好地反應(yīng)被攝圖像的細(xì)節(jié)層次,降低信號(hào)補(bǔ)償處理成本。

    5、光子轉(zhuǎn)換效率高(High Quantum Efficiency):很微弱的入射光照射都能被記錄下來(lái),若配合影響增強(qiáng)管及投光器,即使在黑夜遠(yuǎn)處的景物也能拍攝到。

    6、大面積感光(Large Field of View):利用半導(dǎo)體技術(shù)已可制造大面積的D晶片,目前于傳統(tǒng)膠片尺寸相當(dāng)?shù)?5mm的晶片已經(jīng)開(kāi)始應(yīng)用在數(shù)碼相機(jī)中,成為取代專業(yè)光學(xué)相機(jī)的關(guān)鍵元件。

    7、光譜響應(yīng)廣:從0.4~1.1μm,能檢測(cè)很寬波長(zhǎng)范圍的光,增加系統(tǒng)使用彈性,擴(kuò)大系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域;根據(jù)不同應(yīng)用場(chǎng)合,需用濾色片或復(fù)合濾色片。

    8、低影像失真:使用CCD感測(cè)器,其圖像處理不會(huì)有失真的情形,使原物體表面信息忠實(shí)的反應(yīng)出來(lái)。

    9、體積小、重量輕:CCD具備體積小且重量輕的特性,應(yīng)用廣泛。

    10、低耗能,不受強(qiáng)電磁場(chǎng)影響。

    11、電荷傳輸效率佳:該效率系數(shù)影響信噪比、解像率,若電荷傳輸效率不佳,影像將變模糊。

    12、可大批量生產(chǎn),品質(zhì)穩(wěn)定,堅(jiān)固,不易老化,使用方便及保養(yǎng)容易。有些燒壞的CCD像素,經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的帶電工作后能自我恢復(fù)。

    二、CCD在工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用

    1、可用于對(duì)象幾何量的測(cè)量。幾何量參數(shù)包括:長(zhǎng)、寬、液位、面積等等都可以用CCD傳感器技術(shù)來(lái)測(cè)量。另外,其它如進(jìn)行多尺寸的檢測(cè)和檢查包裝的尺寸、形狀、商標(biāo)位置與方向是否準(zhǔn)確等許多場(chǎng)合也都可以采用CCD技術(shù)。

    2、在線模式識(shí)別。如識(shí)別沿自動(dòng)化生產(chǎn)線傳送的分布離散物件或產(chǎn)品、檢測(cè)零件的有無(wú)、裝備在機(jī)器人上作為視覺(jué)系統(tǒng)、以及設(shè)備安裝是否符合要求、位置是否準(zhǔn)確等。

    3、物體表面自動(dòng)檢測(cè)。工業(yè)生產(chǎn)中,表面狀況是物體質(zhì)量的一個(gè)重要因素,采用CCD技術(shù)對(duì)物體表面狀況進(jìn)行高精度的檢測(cè),不僅可以省略以往光學(xué)機(jī)構(gòu)掃描法中的運(yùn)動(dòng)部件,而且檢測(cè)色度高,系統(tǒng)結(jié)構(gòu)小,能自動(dòng)顯示或記錄被檢測(cè)物體的表面狀態(tài)等。因而可應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中進(jìn)行檢測(cè)金屬板、塑料、玻璃、紡織等物品的表面缺陷。

    4、加工過(guò)程檢測(cè)。因?yàn)镃CD具有高速讀出能力,因而也可以用于加工業(yè)過(guò)程中的檢測(cè),如機(jī)床加工中的位置測(cè)定是閉環(huán)控制不可缺少的一個(gè)環(huán)節(jié),應(yīng)用CCD技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)加工設(shè)備位置高精度的實(shí)時(shí)控制。

    主要CCD 參數(shù)

    量子效率
    CCD能夠測(cè)得的光子百分比被稱為量子效率(Quantum Effciency,QE)。人類肉眼的QE大約是20%,攝影膠片的QE則是10%左右。而現(xiàn)代的CCD能夠?qū)崿F(xiàn)大于90%的QE。量子效率會(huì)因波長(zhǎng)而有差異,而通過(guò)諸如背薄(backthinning)、 背照 (back-illumination)、反眩光涂層和高阻硅等各種創(chuàng)新,可以使CCD的量子效率涵蓋到各種波長(zhǎng)。
    波長(zhǎng)范圍
    CCD的波長(zhǎng)范圍可以從0.1nm (軟X光) 到 400 nm (藍(lán)色可見(jiàn)光),甚至達(dá)到1000 nm (近紅外線),而尖峰靈敏度可達(dá)到700 nm左右。利用背照可以實(shí)現(xiàn)較短的X光和紫外光波長(zhǎng)檢測(cè),而低噪聲和高阻硅技術(shù)則有助于提高對(duì)較長(zhǎng)的近紅外線波長(zhǎng)的靈敏度。
    動(dòng)態(tài)范圍
    能夠正確讀出同一圖像的光亮和模糊來(lái)源,是測(cè)量器的一個(gè)非常有用的特點(diǎn)。測(cè)量器準(zhǔn)確讀出圖像內(nèi)最光亮和最模糊來(lái)源二者之間的差異被稱為動(dòng)態(tài)范圍。
    當(dāng)光線來(lái)到CCD上,光子會(huì)轉(zhuǎn)換成電子。CCD的動(dòng)態(tài)范圍一般是以可成像的最小和最大電子數(shù)目為量度單位。落可CCD上的光線越多,在電位井(p-井)內(nèi)收集到的電子數(shù)目也就越多。當(dāng)電位井無(wú)法再接收更多的電子時(shí),意味著像素達(dá)到飽和狀態(tài)。在典型的科學(xué)用CCD,這情況大約會(huì)在150,000個(gè)電子時(shí)發(fā)生。
    可測(cè)量的最小信號(hào)單位不一定是一個(gè)電子(相等于可見(jiàn)波長(zhǎng)的一個(gè)光子)。具體來(lái)說(shuō),最小電子噪聲一般是與CCD實(shí)體結(jié)構(gòu)相關(guān),最小大約是每像素2至4個(gè)電子。所以可測(cè)量的最小信號(hào)是由這讀出噪聲來(lái)決定。單電子或電子倍增CCD(Electron Multiplication CCD,EMCCD) 都是經(jīng)設(shè)計(jì)用于高靈敏度測(cè)量的超低噪聲傳感器,可以量度出小至數(shù)個(gè)光子或電子的信號(hào)。
    線性度
    測(cè)量器的另一重要考慮是對(duì)它所見(jiàn)的任何圖像的線性響應(yīng)能力。如果CCD測(cè)出100個(gè)光子,它便會(huì)把它們轉(zhuǎn)換為100個(gè)電子(假設(shè)QE為100%)。在這一狀況下,測(cè)量器有一個(gè)線性響應(yīng)。線性響應(yīng)的用處在于無(wú)需對(duì)圖像進(jìn)行附加處理,便可以測(cè)定圖像上不同主體的真正和真實(shí)密度。
    噪聲
    CCD的噪聲表現(xiàn)取決于多個(gè)因素。
    暗電流
    暗電流是由溫度產(chǎn)生的噪聲。在室溫,CCD的噪聲表現(xiàn)可以是每像素每秒數(shù)千個(gè)電子。在這情形下,每個(gè)像素有機(jī)會(huì)在數(shù)秒間達(dá)到滿井容量,使得CCD飽和。
    可以利用諸如珀耳帖冷凝器(Peltier cooler)甚至是致冷器(cryo-cooler)等系統(tǒng)來(lái)為檢測(cè)器降溫來(lái)解決暗電流問(wèn)題。在-40° C溫度下, CCD的噪聲表現(xiàn)可以降低到每像素每秒數(shù)十個(gè)電子。
    讀出噪聲
    讀出噪聲源于每個(gè)像素內(nèi)的電子在CCD輸出節(jié)點(diǎn)上轉(zhuǎn)換為電壓的工作。噪聲的幅度取決于輸出節(jié)點(diǎn)的大小。在減小CCD讀出噪聲方面已有一些技術(shù)進(jìn)步,而這一工作將繼續(xù)成為現(xiàn)在和未來(lái)CCD發(fā)展的重要部分。
    讀出噪聲能影響動(dòng)態(tài)范圍,所以必需盡可能減小,這在微小能量檢測(cè)應(yīng)用方面至關(guān)重要。歐洲航天局(ESA)的 XMM-牛頓太空衛(wèi)星內(nèi)檢測(cè)X光能量中的光子就是一個(gè)例子。
    功耗
    CCD本身需要很小功耗。主要的功耗考慮來(lái)自操作CCD和處理圖像所需的電子器件。

    三種CCD圖像傳感器

    CCD的中文全稱是電荷耦合元件,是一種半導(dǎo)體成像器件。通過(guò)被攝物體的圖像經(jīng)過(guò)鏡頭聚焦至CCD芯片上的原理制成了CCD攝像機(jī),其中的核心原件就是CCD圖像傳感器。

    CCD圖像傳感器作為一種新型光電轉(zhuǎn)換器現(xiàn)已被廣泛應(yīng)用于攝像、圖像采集、掃描儀以及工業(yè)測(cè)量等領(lǐng)域。作為攝像器件,與攝像管相比,CCD圖像傳感器有體積小、重量輕、分辨率高、靈敏度高、動(dòng)態(tài)范圍寬、光敏元的幾何精度高、光譜響應(yīng)范圍寬、工作電壓低、功耗小、壽命長(zhǎng)、抗震性和抗沖擊性好、不受電磁場(chǎng)干擾和可靠性高等一系列優(yōu)點(diǎn)。

    圖片

    CCD是數(shù)碼相機(jī)的電子眼,它革新了攝影術(shù),光可以被電子化地記錄下來(lái),取代了膠片。這一數(shù)字形式極大地方便了對(duì)圖像的處理和發(fā)送,”諾貝爾獎(jiǎng)評(píng)選委員會(huì)稱贊說(shuō),“無(wú)論是我們大海中深邃之地,還是宇宙中的遙遠(yuǎn)之處,它都能給我們帶來(lái)水晶般清晰的影像。”

    CCD圖像傳感器發(fā)展歷程

    CCD圖像傳感器于1969年在貝爾試驗(yàn)室研制成功,之后由日商等公司開(kāi)始量產(chǎn),其發(fā)展歷程已經(jīng)將近30多年,從初期的10多萬(wàn)像素已經(jīng)發(fā)展至目前主流應(yīng)用的500萬(wàn)像素。CCD又可分為線型(Linear)與面型(Area)兩種,其中線型應(yīng)用于影像掃瞄器及傳真機(jī)上,而面型主要應(yīng)用于數(shù)碼相機(jī)(DSC)、攝錄影機(jī)、監(jiān)視攝影機(jī)等多項(xiàng)影像輸入產(chǎn)品上。

    發(fā)明:

    伴隨著數(shù)碼相機(jī)、帶有攝像頭的手機(jī)等電子設(shè)備風(fēng)靡全球,人類已經(jīng)進(jìn)入了全民數(shù)碼影像的時(shí)代,每一個(gè)人都可以隨時(shí)、隨地、隨意地用影像記錄每一瞬間。帶領(lǐng)我們進(jìn)入如此五彩斑斕世界的,就是美國(guó)科學(xué)家威拉德·博伊爾和喬治·史密斯發(fā)明的CCD(電荷耦合器件)圖像傳感器。

    百多年來(lái),伴隨著暗箱、鏡頭和感光材料制作不斷取得突破,以及精密機(jī)械、化學(xué)技術(shù)的發(fā)展,照相機(jī)的功能越來(lái)越強(qiáng)大,使用越來(lái)越方便。但是,直到幾十年前,人們依然只能將影像記錄在膠片上。拍攝影像慢慢普及,但即時(shí)欣賞、分享、傳遞影像還非常困難。1969年,博伊爾和史密斯極富創(chuàng)意地發(fā)明了一種半導(dǎo)體裝置,可以把光學(xué)影像轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號(hào),這一裝置,就是CCD圖像傳感器。

    發(fā)展歷程:

    CCD圖像傳感器的發(fā)明,實(shí)際上是應(yīng)用愛(ài)因斯坦有關(guān)光電效應(yīng)理論的結(jié)果,即光照射到某些物質(zhì)上,能夠引起物質(zhì)的電性質(zhì)發(fā)生變化。但是從理論到實(shí)踐,道路卻并不平坦。科學(xué)家遇到的最大挑戰(zhàn),在于如何在很短的時(shí)間內(nèi),將每一個(gè)點(diǎn)上因?yàn)楣庹斩a(chǎn)生改變的大量電信號(hào)采集并且辨別出來(lái)。經(jīng)過(guò)多次試驗(yàn),博伊爾和史密斯終于解決了上述難題。他們采用一種高感光度的半導(dǎo)體材料,將光線照射導(dǎo)致的電信號(hào)變化轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào),使得其高效存儲(chǔ)、編輯、傳輸都成為可能。簡(jiǎn)單地說(shuō),CCD圖像傳感器就像是膠片一樣,有了它,人們就再不用耗時(shí)費(fèi)力地去沖洗膠片了。

    三種CCD圖像傳感器的優(yōu)缺點(diǎn)

    CCD(電荷耦合器件)圖像傳感器體系可分為全幀(FF)、幀傳輸(FT)和行間傳輸(IT)三種CCD架構(gòu)。

    全幀(Full-Frame)CCD

    半導(dǎo)體區(qū)域既可以作為光電元件,也可以作為電荷轉(zhuǎn)移器件,這有點(diǎn)違反直覺(jué),但這正是FF CCD中發(fā)生的事情。在集成過(guò)程中,像素位置響應(yīng)入射光子積累電荷,在集成之后,電荷包垂直地通過(guò)像素位置向水平移位寄存器移動(dòng)。

    一般情況下,我們通過(guò)應(yīng)用精心定時(shí)的時(shí)鐘信號(hào)來(lái)獲得CCD像素?cái)?shù)據(jù),這些時(shí)鐘信號(hào)依次在器件的電荷傳輸結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生電位阱和電位屏障。在全幀CCD中,我們需要能夠?qū)⑦@些控制電壓應(yīng)用到同樣起光電探測(cè)器作用的區(qū)域,因此,柵極電極由透明多晶硅制成。

    全幀CCD相對(duì)而言比較簡(jiǎn)單且易于制造,并且它們?cè)试S整個(gè)CCD表面具有光敏性。這使硅的給定區(qū)域中可以包含的像素?cái)?shù)量最大化,同時(shí)也使每個(gè)像素中實(shí)際上能夠?qū)⒐庾愚D(zhuǎn)換為電子的部分最大化。

    然而,一個(gè)主要的限制是需要一個(gè)機(jī)械快門(mén)(或一個(gè)同步的、短時(shí)間的光源稱為頻閃)。CCD的光激活區(qū)并不會(huì)因?yàn)槟阋呀?jīng)決定是時(shí)候執(zhí)行讀出而停止光激活。如果沒(méi)有在曝光周期完成后阻擋入射光的機(jī)械快門(mén),則在(有意)集成期間生成的電荷包將被讀出期間到達(dá)的光損壞。

    圖片

    這是全幀CCD的基本架構(gòu)

    幀傳輸(Frame-Transfer)CCD

    一般來(lái)說(shuō),我們更喜歡用電子方式控制曝光,快門(mén)(像任何其他快速移動(dòng)的高精度機(jī)械設(shè)備一樣)使設(shè)計(jì)更加復(fù)雜,最終產(chǎn)品更加昂貴,整個(gè)系統(tǒng)更容易出現(xiàn)故障。在電池供電的應(yīng)用中,驅(qū)動(dòng)物理物體所需的額外能量也是不可取的。

    FT-CCD允許我們保持FF-CCD的一些優(yōu)點(diǎn),同時(shí)(幾乎)不需要快門(mén)。這是通過(guò)將FF CCD分成兩個(gè)大小相等的部分來(lái)實(shí)現(xiàn)的。其中一個(gè)部分是普通的光敏成像陣列,另一個(gè)部分是屏蔽入射光的存儲(chǔ)陣列。

    在集成之后,用于所有像素的電荷包被快速地傳輸?shù)酱鎯?chǔ)陣列,然后在存儲(chǔ)陣列中發(fā)生讀出。當(dāng)讀取存儲(chǔ)位置時(shí),活動(dòng)像素可以為下一圖像累積電荷,這使得幀傳輸CCD能夠獲得比全幀CCD更高的幀速率。

    說(shuō)FT架構(gòu)幾乎消除了快門(mén),因?yàn)闊o(wú)快門(mén)設(shè)計(jì)會(huì)遇到一個(gè)稱為垂直涂抹的問(wèn)題。電荷包從活動(dòng)像素到存儲(chǔ)位置的傳輸很快,但不是瞬間發(fā)生的,因此在垂直傳輸期間到達(dá)傳感器的光可以改變圖像信息。

    FT架構(gòu)的主要缺點(diǎn)是成本較高,并且相對(duì)于圖像質(zhì)量而言面積增大,因?yàn)榛旧鲜鞘褂肍F傳感器,然后將像素?cái)?shù)減少兩倍。

    圖片

    幀傳輸CCD在全幀架構(gòu)中增加了一個(gè)存儲(chǔ)陣列

    線間傳輸(Interline-Transfer)CCD

    我們需要的最后一個(gè)主要的架構(gòu)改進(jìn)是將集成電荷快速轉(zhuǎn)移到存儲(chǔ)區(qū)域,從而將污跡降低到可以忽略的程度。線間傳輸CCD通過(guò)提供與每個(gè)光活動(dòng)位置相鄰的存儲(chǔ)(和傳輸)區(qū)域的網(wǎng)絡(luò)來(lái)實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)。曝光完成后,傳感器中的每個(gè)電荷包同時(shí)傳輸?shù)椒枪饷舸怪币莆患拇嫫髦小?/p>

    因此,它的CCD能夠以最小的拖影實(shí)現(xiàn)電子快門(mén),并且像FT-ccd一樣,它們可以在讀出期間集成,從而保持較高的幀速率能力。然而,如果光生電荷在讀出過(guò)程中從光活性柱泄漏到相鄰的垂直移位寄存器中,則可能發(fā)生一些涂抹。如果應(yīng)用程序不需要高幀速率,則可以通過(guò)延遲積分直到讀出完成來(lái)消除此問(wèn)題。

    線間CCD不需要幀傳輸CCD中使用的大存儲(chǔ)部分,但它們引入了一個(gè)新的缺點(diǎn):傳感器成為將光子轉(zhuǎn)換為電子的效率較低的手段,因?yàn)槊總€(gè)像素位置現(xiàn)在都由光電二極管和垂直移位寄存器的一部分組成。換言之,部分像素對(duì)光不敏感,因此相對(duì)于落在像素區(qū)域上的光的量產(chǎn)生較少的電荷。這種靈敏度的損失通過(guò)在傳感器上添加將入射光集中到每個(gè)像素的光活動(dòng)區(qū)域的微小透鏡而大大減輕,但是這些“微透鏡”有其自身的一系列困難。

    圖片

    在行間傳輸架構(gòu)中,存儲(chǔ)(和垂直傳輸)區(qū)域位于光活性柱之間。

    全幀CCD可能看起來(lái)是最“原始”的類型,但它們?nèi)匀皇遣恍枰邘俾实南到y(tǒng)中的首選,并且可以容忍閃光燈或機(jī)械快門(mén)的使用。幀傳輸CCD和線間傳輸CCD具有更多的用途,在某些應(yīng)用中具有關(guān)鍵的優(yōu)勢(shì)。

    CMOS圖像傳感器基礎(chǔ)知識(shí)和參數(shù)理解

    (版權(quán)聲明:本文為CSDN博主「jingwang2458」的原創(chuàng)文章,遵循CC 4.0 BY-SA版權(quán)協(xié)議,轉(zhuǎn)載請(qǐng)附上原文出處鏈接及本聲明。原文鏈接:https://blog.csdn.net/jingwang2458/article/details/107980980)

    CMOS圖像傳感器的工作原理:每一個(gè) CMOS 像素都包括感光二極管(Photodiode)、浮動(dòng)式擴(kuò)散層(Floating diffusion layer)、傳輸電極門(mén) (Transfer gate)、起放大作用的MOSFET、起像素選擇開(kāi)關(guān)作用的M0SFET.在 CMOS 的曝光階段,感光二極管完成光電轉(zhuǎn)換,產(chǎn)生信號(hào)電荷,曝光結(jié)束后,傳輸電極門(mén)打開(kāi),信號(hào)電荷被傳送到浮動(dòng)式擴(kuò)散層,由起放大作用的MOSFET電極門(mén)來(lái)拾取,電荷信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)。所以這樣的 CMOS 也就完成了光電轉(zhuǎn)換、電荷電壓轉(zhuǎn)換、模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換的三大作用,通過(guò)它我們就能把光信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào),最終得到數(shù)字信號(hào)被計(jì)算機(jī)讀取,這樣,我們就已經(jīng)擁有了記錄光線明暗的能力,但這還不夠,因?yàn)槲覀冃枰省,F(xiàn)代彩色CMOS 的原理也很簡(jiǎn)單,直接在黑白圖像傳感器的基礎(chǔ)上增加色彩濾波陣列(CFA),從而實(shí)現(xiàn)從黑白到彩色的成像。很著名的一種設(shè)計(jì)就是Bayer CFA(拜耳色彩濾波陣列)。

    一個(gè)很有趣的事就是,我們用來(lái)記錄光影的 CMOS, 和我們用來(lái)輸出光影的顯示器,原理也剛好是向相反的,CMOS 把光轉(zhuǎn)化為電信號(hào)最后以數(shù)字格式記錄,顯示器把解碼的數(shù)字格式從電信號(hào)重新轉(zhuǎn)化為光。光電之間的轉(zhuǎn)換也就構(gòu)成了我們?nèi)祟悢?shù)字影像的基礎(chǔ)。

    當(dāng)前主流的CMOS廠商有:索尼、三星、豪威、格科微、思特威、安森美等公司。
    常見(jiàn)的色彩濾波陣列RGGB:一個(gè)紅光、一個(gè)藍(lán)光、兩個(gè)綠光濾波器
    每個(gè)像素只能感應(yīng)一種顏色的光,但是我對(duì)外輸出的時(shí)候,需要知道這個(gè)像素的rgb值,我就只能通過(guò)周圍像素去計(jì)算,這個(gè)計(jì)算和轉(zhuǎn)換是靠ISP去完成的。進(jìn)從而得出我這個(gè)像素的RGB的值,這樣我每個(gè)像素雖然只感應(yīng)了一種光,但是每個(gè)像素經(jīng)過(guò)處理后傳輸?shù)酵饷婧缶褪怯蠷GB的信息了。這些原始的感光數(shù)據(jù)成為RAW data。
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    RCCC:75% 部分為透?jìng)鳎溆?25% 為感受紅光的濾波器。RCCC 的優(yōu)點(diǎn)是光靈敏度高,適用于弱光環(huán)境。由于 RCCC 只有紅色光濾波器,因此主要用在對(duì)于紅色標(biāo)識(shí)敏感的場(chǎng)合,比如交通燈檢測(cè)。
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    RCCB:50% 部分為透?jìng)鳎溆嗉t光藍(lán)光濾波器各占 25%。RCCB 的弱光敏感性比 RCCC 稍差(Clear 部分少),但它分辨色彩的能力更好,采集的圖像既可以用于機(jī)器分析,也可以用于人眼觀察。
    圖片
    Mono:100% 透?jìng)鳎荒芊直嫔省ono 配置的弱光靈敏度最高,僅用于對(duì)顏色無(wú)識(shí)別要求的場(chǎng)合,如駕駛員狀態(tài)檢測(cè)等。
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    幾個(gè)重要參數(shù)的理解:
    1、傳感器尺寸:圖像傳感器的尺寸越大,則成像系統(tǒng)的尺寸越大,捕獲的光子越多,感光性能越好,信噪比越低。目前CMOS圖像傳感器的常見(jiàn)尺寸有1、2/3、1/2、1/3、1/4英寸等。
    2、像素總數(shù)和有效像素?cái)?shù):像素總數(shù)是指所有像素的總和,像素總數(shù)是衡量CMOS圖像傳感器的主要技術(shù)指標(biāo)之一。CMOS圖像傳感器的總體像素中被用來(lái)進(jìn)行有效的光電轉(zhuǎn)換并輸出圖像信號(hào)的像素為有效像素。顯而易見(jiàn),有效像素總數(shù)隸屬于像素總數(shù)集合。有效像素?cái)?shù)目直接決定了CMOS圖像傳感器的能力。
    3、動(dòng)態(tài)范圍:動(dòng)態(tài)范圍由CMOS圖像傳感器的信號(hào)處理能力和噪聲決定,反映了CMOS圖像傳感器的工作范圍。其數(shù)值是輸出端的信號(hào)峰值電壓與均方根噪聲電壓之比,通常用DB表示。
    4、分辨率:對(duì)景物中明暗細(xì)節(jié)的分辨能力。
    5、像元尺寸也就是像素的大小:是指芯片像元陣列上的每個(gè)像素的實(shí)際物理尺寸,通常的尺寸包括14um、10um、9um、7um、6.45um、3.75um、3.0um、2.0um、1.75um、1.4um、1.2um、1.0um等,像元尺寸從某種程度上反映了芯片的對(duì)光的響應(yīng)能力,像元尺寸越大,能夠接收到的光子數(shù)量越多,在同樣的光照條件和曝光時(shí)間內(nèi)產(chǎn)生的電荷數(shù)量越多。對(duì)于弱光成像而言,像元尺寸是芯片靈敏度的一種表征。
    6、靈敏度:靈敏度是芯片的重要參數(shù)之一,它具有兩種物理意義。一種是光器件的光電轉(zhuǎn)換能力,與響應(yīng)率的意義相同。即芯片的靈敏度指在一定的光譜范圍內(nèi),單位曝光量的輸出信號(hào)電壓(電流),單位可以為納安/勒克斯nA/Lux、伏/瓦(V/W)、伏/勒克斯(V/Lux)、伏/流明(V/lm)。另一種是指器件所能傳感的對(duì)地輻射功率(或照度),與探測(cè)率的意義相同,單位可用瓦(w)或勒克斯(Lux)表示。
    7、壞點(diǎn)數(shù),由于受到制造工藝的限制,對(duì)于有幾百萬(wàn)像素點(diǎn)的傳感器而言,所有的像元都是好的情況幾乎不可能,壞點(diǎn)數(shù)是指芯片中壞點(diǎn)(不能有效成像的像元或相應(yīng)不一致性大于參數(shù)允許的范圍的像元)的數(shù)量,壞點(diǎn)數(shù)是衡量芯片質(zhì)量的重要參數(shù)。
    8、光譜效應(yīng),指芯片對(duì)于不同光波長(zhǎng)光線的響應(yīng)能力。
    技術(shù)發(fā)展趨勢(shì),體積小型化及高像素化仍是業(yè)界積極研發(fā)的目標(biāo)。因?yàn)橄袼爻叽缧t圖像產(chǎn)品的分辨率越高、清晰度越好、體積越小,其應(yīng)用面更廣泛。
    9、CRA角度:從鏡頭的傳感器一側(cè),可以聚焦到像素上的光線的最大角度被定義為主光角(CRA),鏡頭軸心線附近接近零度,與軸心線的距離越大,角度也隨之增大。CRA與像素在傳感器的位置是相關(guān)的。如果lens的CRA小于sensor的CRA,一定會(huì)有偏色現(xiàn)象。
    10、動(dòng)態(tài)范圍:測(cè)量了圖像傳感器在同一張照片中同時(shí)捕獲光明和黑暗物體的能力,通常定義為最亮信號(hào)與最暗信號(hào)比值的對(duì)數(shù)。
    11、IR cut(濾除紅外光)
    如果沒(méi)有,圖像就會(huì)明顯偏紅,這種色差是沒(méi)法用軟件來(lái)調(diào)整的。
    12、快門(mén)
    Global Shutter(全局快門(mén))與Rolling Shutter(卷簾快門(mén))對(duì)應(yīng)全局曝光和卷簾曝光模式。卷簾快門(mén)逐行曝光的方式,全局快門(mén)是全部像素同時(shí)曝光,所以全局快門(mén)能夠拍運(yùn)動(dòng)的物體而不產(chǎn)生形變,因?yàn)槿挚扉T(mén)在每一個(gè)像素上添加了一個(gè)存儲(chǔ)單元
    13、像素技術(shù)
    FSI:前照式, 光是從前面的金屬控制線之間進(jìn)入,然后再聚焦在光電檢測(cè)器上。
    BSI:背照式,光線無(wú)需穿過(guò)金屬互連層,優(yōu)勢(shì)大,比較有前景。
    BSI在低照條件下的成像亮度和清晰度都比FSI有更大的優(yōu)勢(shì)。
    傳統(tǒng)的CMOS圖像傳感器是前照式結(jié)構(gòu)的,自上而下分別是透鏡層、濾色片層、線路層、感光元件層。采取這個(gè)結(jié)構(gòu)時(shí),光線到達(dá)感光元件層時(shí)必須經(jīng)過(guò)線路層的開(kāi)口,這里易造成光線損失。
    而背照式把感光元件層換到線路層的上面,感光層只保留了感光元件的部分邏輯電路,這樣使光線更加直接的進(jìn)入感光元件層,減少了光線損失,比如光線反射等。因此在同一單位時(shí)間內(nèi),單像素能獲取的光能量更大,對(duì)畫(huà)質(zhì)有明顯的提升。不過(guò)該結(jié)構(gòu)的芯片生產(chǎn)工藝難度加大,良率下降,成本相對(duì)高一點(diǎn)。
    堆棧式(stack):堆棧式是在背照式上的一種改良,是將所有的線路層挪到感光元件的底層,使開(kāi)口面積得以最大化,同時(shí)縮小了芯片的整體面積。對(duì)產(chǎn)品小型化有幫助。另外,感光元件周邊的邏輯電路移到底部之后,理論上看邏輯電路對(duì)感光元件產(chǎn)生的效果影響就更小,電路噪聲抑制得以優(yōu)化,整體效果應(yīng)該更優(yōu)。業(yè)內(nèi)的朋友應(yīng)該了解相同像素的堆棧式芯片的物理尺寸是比背照式芯片的要小的。但堆棧式的生產(chǎn)工藝更大,良率更低,成本更高。索尼的IMX214(堆棧式)和IMX135(背照式)或許很能說(shuō)明上述問(wèn)題。
    索尼的STARVIS:基于BSI的應(yīng)用于監(jiān)控?cái)z像機(jī)的技術(shù),在可見(jiàn)光和近紅外光區(qū)域?qū)崿F(xiàn)高畫(huà)質(zhì)。
    索尼的Pregius:將BSI技術(shù)和全局快門(mén)結(jié)合一起。
    Tetracelll:四合一像素技術(shù)
    三星的ISOCELL:基于BSI,通過(guò)在圖像傳感器里的像素之間形成一道絕物理性絕緣體,來(lái)有效的防止進(jìn)入像素的光信號(hào)外漏。
    OV的PureCel:基于BSI和先進(jìn)的4-單元像素內(nèi)合并模式。
    OV的OmniBSI:基于BSI,像素緊湊,減少像素的串?dāng)_問(wèn)題。
    思特威的smartGS:基于BSI應(yīng)用于全局快門(mén)。
    思特威的SmartPixel?:基于BSI,適用于安防監(jiān)控行業(yè)的Rolling Shutter產(chǎn)品系列。
    思特威的SmartClarity?:基于BSI,具備出色的夜視性能。
    14、傳輸接口
    MIPI: 移動(dòng)行業(yè)處理器接口,是MIPI聯(lián)盟發(fā)起的為移動(dòng)應(yīng)用處理器制定的開(kāi)放標(biāo)準(zhǔn)。串行數(shù)據(jù),速度快,抗干擾,主流。
    LVDS:低壓差分信號(hào)技術(shù)接口。
    DVP:并口傳輸,速度較慢,傳輸?shù)膸挼汀?/section>
    Parallel:并行數(shù)據(jù),含12位數(shù)據(jù)信號(hào),行場(chǎng)同步信號(hào)和時(shí)鐘信號(hào)。
    HISPI:高速像素接口,串行數(shù)據(jù)。
    SLVS-EC: 由 SONY 公司定義,用于高幀率和高分辨率圖像采集,它可以將高速串行的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為 DC(Digital Camera)時(shí)序后傳遞給下一級(jí)模塊 VICAP(Video Capture)。SLVS-EC 串行視頻接口可以提供更高的傳輸帶寬,更低的功耗,在組包方式上,數(shù)據(jù)的冗余度也更低。在應(yīng)用中 SLVS-EC 接口提供了更加可靠和穩(wěn)定的傳輸。
    15、封裝
    BGA: 球形觸點(diǎn)陳列,表面貼裝型封裝。球柵網(wǎng)格陣列封裝.
    LGA: 平面網(wǎng)格陣列封裝.
    PGA: 插針網(wǎng)格陣列封裝.
    CSP: 芯片級(jí)封裝的意思.
    COB: 將裸芯片用導(dǎo)電或非導(dǎo)電膠粘附在互連基板上,然后進(jìn)行引線鍵合實(shí)現(xiàn)其電連接。
    Fan-out:扇出晶圓級(jí)封裝。
    PLCC:帶引線的塑料芯片載體.表面貼裝型封裝。
    TSV: TSV技術(shù)本質(zhì)上并不是一種封裝技術(shù)方案,而只是一種重要的工具,它允許半導(dǎo)體裸片和晶圓以較高的密度互連在一起。

    CMOS圖像傳感器的五大工藝技術(shù)


    作者:In-Chul Jeong, SK海力士CIS工藝團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人

    CMOS圖像傳感器(CIS)技術(shù)的創(chuàng)新不斷拓展數(shù)字成像的發(fā)展前景,那么,如何才能確保CIS技術(shù)滿足更高級(jí)應(yīng)用的需求呢?本文首先讓我們快速了解一下CIS技術(shù)的工作原理,然后再重點(diǎn)介紹CIS獨(dú)有的五種制造工藝技術(shù)。

    CMOS圖像傳感器(CIS)技術(shù)的創(chuàng)新不斷拓展數(shù)字成像的發(fā)展前景,其需求最初由智能手機(jī)廠商推動(dòng),因?yàn)樵鰪?qiáng)的照相功能可以讓他們的設(shè)備區(qū)別于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。現(xiàn)在,CIS在汽車、安全、醫(yī)療和制造領(lǐng)域的市場(chǎng)也在不斷增長(zhǎng)。
    微型CMOS圖像傳感器的功能可與人眼視網(wǎng)膜媲美,如今更可以與大型昂貴的照相設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)。相比智能手機(jī),新的應(yīng)用更加強(qiáng)調(diào)對(duì)先進(jìn)CIS技術(shù)的需求。
    CIS技術(shù)不僅可以捕獲人眼能看到的圖像,而且還可以捕獲數(shù)據(jù)以支持許多新用例,從自動(dòng)駕駛車輛和虛擬現(xiàn)實(shí)(VR),到下一代醫(yī)學(xué)成像和高科技監(jiān)視系統(tǒng)。

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    圖1:對(duì)先進(jìn)CIS技術(shù)的需求來(lái)自多種應(yīng)用。(來(lái)源:SK Hynix)
    那么,如何才能確保CIS技術(shù)滿足更高級(jí)應(yīng)用的需求呢?首先,讓我們快速了解一下CIS技術(shù)的工作原理,然后再重點(diǎn)介紹CIS獨(dú)有的五種制造工藝技術(shù),這些技術(shù)均需要不斷地改進(jìn)。

    CIS工作原理

    從最基本的層面上講,CIS用來(lái)將相機(jī)鏡頭的光轉(zhuǎn)換為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù),以創(chuàng)建可見(jiàn)的圖像。當(dāng)波長(zhǎng)范圍為400至700nm的可見(jiàn)光光能被聚集在硅襯底的光電二極管(PD)上時(shí),CMOS圖像傳感器的硅表面將接收該光能,從而形成電子-空穴對(duì)。

    在此過(guò)程中生成的電子通過(guò)浮動(dòng)擴(kuò)散(FD)轉(zhuǎn)換為電壓,然后再通過(guò)模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)轉(zhuǎn)換為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。最后,數(shù)據(jù)被發(fā)送到處理器,以創(chuàng)建可視的數(shù)字描述,通常為圖像。

    CIS制造技術(shù)

    生產(chǎn)這種復(fù)雜傳感器需要特定的制造技術(shù),通常分為五類。
    1.  深光電二極管形成工藝技術(shù)
    由于消費(fèi)者對(duì)圖像質(zhì)量不斷提出更高的需求,導(dǎo)致了業(yè)界的競(jìng)爭(zhēng)加劇,各廠商爭(zhēng)相提高移動(dòng)CIS中的像素密度和分辨率,這種競(jìng)爭(zhēng)反過(guò)來(lái)又進(jìn)一步加速了CIS工藝技術(shù)的發(fā)展。為實(shí)現(xiàn)更高的圖像質(zhì)量,像素尺寸需要進(jìn)一步減小,以便在相同大小的芯片上容納更多的像素。

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    圖2:光電二極管結(jié)構(gòu)變化以及像素尺寸不斷減小的示意圖。(來(lái)源:SK Hynix)
    為了避免圖像質(zhì)量的下降,深光電二極管的作用極為關(guān)鍵。為了在小像素中確保有足夠的滿阱容量(FWC),它的構(gòu)圖和實(shí)施技術(shù)難度級(jí)別遠(yuǎn)超現(xiàn)有的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器。為此,必須遵循高寬比率不斷提高的行業(yè)趨勢(shì),確保掩模工藝技術(shù)達(dá)到超過(guò)15:1的高寬比,以阻止高能離子注入。
    2.  像素-像素隔離工藝技術(shù)
    對(duì)高清CIS來(lái)說(shuō),像素間彼此隔離的技術(shù)至關(guān)重要。不同的芯片制造商會(huì)采用不同的隔離技術(shù),但如果隔離技術(shù)不佳,將可能導(dǎo)致圖像缺陷,例如混色和散色。
    越來(lái)越高的像素密度和分辨率成為普遍的需求,隔離便成為CIS市場(chǎng)中圖像質(zhì)量的重要標(biāo)準(zhǔn)。除此之外,隔離工藝還會(huì)出現(xiàn)一些問(wèn)題。因此,業(yè)界正在努力選擇更好的設(shè)備,并開(kāi)發(fā)新的解決方案以提高良品率和產(chǎn)品質(zhì)量。
    3. 彩色濾光片陣列(CFA)工藝技術(shù)
    彩色濾光片陣列(CFA)是CIS領(lǐng)域獨(dú)有的一種工藝,它在半導(dǎo)體存儲(chǔ)工藝中并不常見(jiàn)。CFA工藝通常包括一個(gè)彩色濾光片(CF)和一個(gè)微透鏡(ML),濾光片將入射光根據(jù)各自波長(zhǎng)范圍過(guò)濾為紅色、綠色和藍(lán)色,而微透鏡則提高聚光效率。為了獲得穩(wěn)定的圖像質(zhì)量,需要評(píng)估R/G/B彩色材料,并研究出可以優(yōu)化形狀和厚度等參數(shù)的技術(shù)。
    最近,一系列高質(zhì)量且功能強(qiáng)大的CIS產(chǎn)品出現(xiàn)在市場(chǎng)上。它們基于Quad Bayer等技術(shù),且輔以CFA的基本形式。

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    圖3:彩色濾光片陣列由彩色濾光片和微透鏡組成。(來(lái)源:SK Hynix)
    4.晶圓堆疊工藝技術(shù)
    晶圓堆疊(即將兩個(gè)晶圓粘貼在一起)是生產(chǎn)高像素和高清晰度CIS產(chǎn)品的一項(xiàng)重要技術(shù)。對(duì)于高像素CIS產(chǎn)品,像素陣列和邏輯電路分別在單個(gè)晶圓上形成,然后在處理過(guò)程中采用晶圓鍵合技術(shù)將它們連接起來(lái)。

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    圖4:晶圓堆疊極大地提升了CIS的性能。(來(lái)源:SK Hynix)
    大多數(shù)CIS芯片制造商已經(jīng)采用了晶圓堆疊技術(shù),這項(xiàng)技術(shù)的各個(gè)方面仍在持續(xù)改進(jìn)中。
    5. CIS良率和質(zhì)量控制技術(shù)
    CIS產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和批量生產(chǎn)過(guò)程中最基本的要求之一是對(duì)金屬污染的控制。由于CIS產(chǎn)品對(duì)污染的敏感度是存儲(chǔ)產(chǎn)品的幾倍,而且污染直接影響產(chǎn)品良率與質(zhì)量,因此必須采用各種污染控制技術(shù)。
    除此之外,等離子體損傷控制也很重要。由于在工藝過(guò)程中造成的損壞會(huì)導(dǎo)致圖像性能下降(如熱像素),因此有必要對(duì)關(guān)鍵工藝進(jìn)行精確管理。

    CIS的未來(lái)前景

    毫不夸張地說(shuō),對(duì)于由CIS驅(qū)動(dòng)的應(yīng)用,其有效性將取決于工藝技術(shù)。而且,各種工藝相互交互的方式也有很大影響。僅僅優(yōu)化制造工藝的某一方面是不夠的,各種工藝必須全部?jī)?yōu)化才能實(shí)現(xiàn)有機(jī)互補(bǔ)。
    不過(guò),回報(bào)是巨大的。從制造業(yè)到醫(yī)療保健服務(wù),再到監(jiān)控,幾乎每個(gè)領(lǐng)域都可以利用CIS新技術(shù)來(lái)改善。擁有對(duì)這個(gè)世界更豐富、更詳盡的視野,各行各業(yè)的公司都將能夠創(chuàng)建更智能、更先進(jìn)的產(chǎn)品和服務(wù),從而使終端客戶和整個(gè)社會(huì)受益。

    視覺(jué)系統(tǒng)CCD和CMOS傳感器原理應(yīng)用對(duì)比,兩者有什么區(qū)別?

    作為電子設(shè)備的“眼睛”,圖像傳感器近年來(lái)成為市場(chǎng)矚目的焦點(diǎn),成為半導(dǎo)體行業(yè)炙手可熱的一大領(lǐng)域。目前,CCD圖像傳感器和CMOS圖像傳感器(CIS)是被普遍采用的兩種圖像傳感器。

    我們所拍攝到的畫(huà)面由很多個(gè)小的點(diǎn)組成,每個(gè)點(diǎn)就是一個(gè)像素。顯然,像素?cái)?shù)越多,畫(huà)面就會(huì)越清晰,如果CCD沒(méi)有足夠的像素的話,拍攝出來(lái)的畫(huà)面的清晰度就會(huì)大受影響。因此,CCD的像素?cái)?shù)量應(yīng)該越多越好。但是為了得到更好的畫(huà)質(zhì)而增加了CCD的像素?cái)?shù)后又必定會(huì)導(dǎo)致一個(gè)問(wèn)題,那就是CCD制造成本的增加以及成品率下降。
    CMOS憑借低成本、設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單、尺寸小、功耗低、高集成度等優(yōu)勢(shì),迅速在民用消費(fèi)電子市場(chǎng)完成對(duì)CCD的替代,目前市場(chǎng)份額已超過(guò)99%,而CCD僅在衛(wèi)星、醫(yī)療等專業(yè)領(lǐng)域繼續(xù)使用。
    CMOS本是計(jì)算機(jī)系統(tǒng)內(nèi)一種重要的芯片,保存了系統(tǒng)引導(dǎo)最基本的資料。CMOS的制造技術(shù)和一般計(jì)算機(jī)芯片沒(méi)什么差別,主要是利用硅和鍺這兩種元素所做成的半導(dǎo)體,使其在CMOS上共存著帶負(fù)電的N極和帶正電的P極的半導(dǎo)體,這兩個(gè)一正一負(fù)互補(bǔ)效應(yīng)所產(chǎn)生的電流即可被處理芯片紀(jì)錄和轉(zhuǎn)換成影像。后來(lái)發(fā)現(xiàn)CMOS經(jīng)過(guò)加工也可以作為數(shù)碼攝影中的圖像傳感器。
    CCD是應(yīng)用在攝影攝像方面的高端技術(shù)元件,CMOS則應(yīng)用于較低影像品質(zhì)的產(chǎn)品中,它的優(yōu)點(diǎn)是制造成本較CCD更低,功耗也低得多,這也是市場(chǎng)很多采用USB接口的產(chǎn)品無(wú)須外接電源且價(jià)格便宜的原因。盡管在技術(shù)上有較大的不同,但CCD和CMOS兩者性能差距不是很大,只是CMOS攝像頭對(duì)光源的要求要高一些,但該問(wèn)題已經(jīng)基本得到解決。CCD元件的尺寸多為1/3英寸或者1/4英寸,在相同的分辨率下,宜選擇元件尺寸較大的為好。
    CMOS在鏡頭中的應(yīng)用

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    與CCD相比,CMOS具有體積小,耗電量不到CCD的1/10,售價(jià)也比CCD便宜1/3的優(yōu)點(diǎn)。CMOS是標(biāo)準(zhǔn)工藝制程,可利用現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備,不需額外的投資設(shè)備,且品質(zhì)可隨著半導(dǎo)體技術(shù)的提升而進(jìn)步。同時(shí),全球晶圓廠的CMOS生產(chǎn)線較多,日后量產(chǎn)時(shí)也有利于成本的降低。另外,CMOS傳感器的最大優(yōu)勢(shì),是它具有高度系統(tǒng)整合的條件。理論上,所有圖像傳感器所需的功能,例如垂直位移、水平位移暫存器、時(shí)序控制、CDS、ADC…等,都可放在集成在一顆晶片上,甚至于所有的晶片包括后端晶片(Back-end Chip)、快閃記憶體(Flash RAM)等也可整合成單晶片(SYSTEM-ON-CHIP),以達(dá)到降低整機(jī)生產(chǎn)成本的目的。
    因工作原理不同,CMOS相比于CCD天然在圖像質(zhì)量方面處于劣勢(shì)。原因主要在于兩個(gè)方面:首先,CMOS的每個(gè)像素都帶有信號(hào)放大器,相互之間難以保持一致,因此容易形成噪點(diǎn),而CCD由于是在器件邊緣出口位置統(tǒng)一放大信號(hào),一致性更強(qiáng),因此信噪比優(yōu)勢(shì)明顯;其次,CMOS每個(gè)像素中的信號(hào)放大器擠占了感光元件面積,因此靈敏度受限很大,而CCD的像素點(diǎn)中基本全部是感光元件,靈敏度明顯更高。 
    CCD與CMOS原理差別圖片
    然而,通過(guò)硬件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的不斷創(chuàng)新以及圖像處理技術(shù)的快速發(fā)展,CMOS相對(duì)于CCD在圖像質(zhì)量上的差距在過(guò)去被不斷縮小。具體來(lái)看,2008年前后,Omni Vision和索尼相繼發(fā)布背照式CMOS產(chǎn)品,通過(guò)將金屬排線層和光電二極管的前后位置調(diào)換,擴(kuò)大了CMOS中單像素點(diǎn)的有效感光面積,帶來(lái)器件靈敏度的大幅提升(以SONY的Exmor R系列為例,靈敏度提升至傳統(tǒng)CMOS的兩倍)。
    傳統(tǒng)式與背照式的原理區(qū)別

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     背照式CMOS靈敏度明顯提升

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    之后索尼又在 2012 年推出堆棧式CMOS技術(shù),可使整顆組件在同尺寸規(guī)格下得到更多的空間來(lái)獲得更大面積的感光范圍。

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    我們最后總結(jié)對(duì)比一下:
    ①傳統(tǒng)CMOS感光元件成像過(guò)程:光線先通過(guò)最上方的電路,然后再進(jìn)入感光層進(jìn)行成像,由于光線先經(jīng)過(guò)電路層,部分光線會(huì)反射回去,導(dǎo)致進(jìn)光量減少。 
    ②背照式感光元件就將部分電路放到了像素層的下面,但仍有部分是在像素層上的,那么這樣光線就首先經(jīng)過(guò)像素層再經(jīng)過(guò)電路,進(jìn)光量就大大提升了,而且還能通過(guò)在下方的電路進(jìn)行對(duì)照片的的優(yōu)化。 
    ③堆棧式感光元件完全把電路層放到了像素層的下方,這樣的進(jìn)光量會(huì)更加大,使得在暗的環(huán)境中拍攝到亮度更高的照片。 
    傳統(tǒng)式、背照式、堆棧式對(duì)比圖

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    CMOS圖像傳感器產(chǎn)業(yè)鏈主要由上游的芯片設(shè)計(jì)企業(yè),中游的晶圓代工廠、封裝企業(yè)和下游的模組廠商及終端客戶組成。CMOS對(duì)供應(yīng)鏈的拉動(dòng),在上、下、中游都有體現(xiàn)。 

    圖像傳感器產(chǎn)品類型 

    圖像傳感器兩種主要的成像技術(shù)是CCD(電荷耦合器件)和CMOS。一般來(lái)看,CCD具有更低的噪聲,更好的像素間均勻性,并且以較佳的圖像質(zhì)量而享有盛譽(yù)。CMOS傳感器則提供了更高的集成度-降低了電路設(shè)計(jì)人員的工作復(fù)雜度-并降低了功耗。

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    還有一些其他類型的傳感器,比如NMOS傳感器用于光譜學(xué),微型測(cè)光儀提供紅外熱成像的靈敏度,而特殊應(yīng)用可能會(huì)使用連接到定制放大器電路的光電二極管陣列。

    產(chǎn)品特點(diǎn) 

    CCD圖像傳感器作為攝像器件,與攝像管相比,具有有體積小、重量輕、功耗小、壽命長(zhǎng)、工作電壓低、靈敏度高、分辨率高、動(dòng)態(tài)范圍寬、光敏元的幾何精度高、光譜響應(yīng)范圍寬、抗震性和抗沖擊性好、不受電磁場(chǎng)干擾等一系列優(yōu)點(diǎn)。 

    與CCD相比,CMOS具有體積小、耗電量低、售價(jià)較低的優(yōu)點(diǎn)。與CCD產(chǎn)品相比,CMOS是標(biāo)準(zhǔn)工藝制程,可利用現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備,不需額外的投資設(shè)備,且品質(zhì)可隨著半導(dǎo)體技術(shù)的提升而進(jìn)步。值得注意的是,全球晶圓廠的CMOS生產(chǎn)線較多,量產(chǎn)時(shí)也有利于成本的降低。

    應(yīng)用領(lǐng)域 

    CCD又可分為線型(Linear)與面型(Area)兩種,其中線型應(yīng)用于影像掃瞄器及傳真機(jī)上,而面型主要應(yīng)用于數(shù)碼相機(jī)(DSC)、攝錄影機(jī)、監(jiān)視攝影機(jī)等多項(xiàng)影像輸入產(chǎn)品上。CCD圖像傳感器除了大規(guī)模應(yīng)用于數(shù)碼相機(jī)外,還廣泛應(yīng)用于攝像機(jī)、掃描儀,以及工業(yè)領(lǐng)域等。 

    在搭建機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)時(shí)我們首要考慮的是圖像傳感器,如何選擇我們需要了解CCD和CMOS圖像傳感器之間的區(qū)別。 可能你更經(jīng)常聽(tīng)到CMOS術(shù)語(yǔ)。 那么,什么是CCD和CMOS圖像傳感器 ,它們有什么不同呢?

    【圖像傳感器CCD和CMOS技術(shù)性能對(duì)比】

    固體圖像傳感器(也稱固體光電成像器件)有CCD與CMOS兩種。CCD是“電荷耦合器件”(Charge Coupled Device)的簡(jiǎn)稱,而CMOS是“互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體”(Complementary Metal Oxide Semiconductor)的簡(jiǎn)稱。

    1.信息讀取方式的對(duì)比

    CCD光電成像器件存貯的電荷信息,需要在二相或三相或四相時(shí)鐘驅(qū)動(dòng)脈沖的控制下,一位一位地實(shí)施轉(zhuǎn)移后逐行順序讀取。

    而CMOS光電成像器件的光學(xué)圖像信息經(jīng)光電轉(zhuǎn)換后產(chǎn)生電流或電壓信號(hào),這個(gè)電信號(hào)不需要像CCD那樣逐行讀取,而是從CMOS晶體管開(kāi)關(guān)陣列中直接讀取的,可增加取像的靈活性。而CCD絕無(wú)此功能。

    2.速度的對(duì)比

    由上知,CCD成像器件需在二、三、四相時(shí)鐘驅(qū)動(dòng)脈沖的控制下,以行為單位一位一位地輸出信息,所以速度較慢。

    而CMOS成像器件在采集光電圖像信號(hào)的同時(shí)就可取出電信號(hào),它并能同時(shí)處理各單元的圖像信息,所以速度比CCD成像器件快得多。由于CMOS成像器件的行、列電極可以被高速地驅(qū)動(dòng),再加上在同一芯片上做A/D轉(zhuǎn)換,圖像信號(hào)能快速地取出,因此它可在相當(dāng)高的幀速下動(dòng)作。如有些設(shè)計(jì)用來(lái)做機(jī)器視覺(jué)的CMOS,聲稱可以高達(dá)每秒1000個(gè)畫(huà)面的幀速。

    3.電源及耗電量的對(duì)比

    由于CCD的像素由MOS電容構(gòu)成,讀取電荷信號(hào)時(shí)需使用電壓相當(dāng)大(至少12V)的二相或三相或四相時(shí)序脈沖信號(hào),才能有效地傳輸電荷。因此CCD的取像系統(tǒng)除了要有多個(gè)電源外,其外設(shè)電路也會(huì)消耗相當(dāng)大的功率。有的CCD取像系統(tǒng)需消耗2~5W的功率。

    而CMOS光電成像器件只需使用一個(gè)單電源5V或3V,耗電量非常小,僅為CCD的1/8~1/10,有的CMOS取像系統(tǒng)只消耗20~50mW的功率。

    4.成像質(zhì)量的對(duì)比

    CCD成像器件制作技術(shù)起步早,技術(shù)成熟,采用PN結(jié)或二氧化硅(sio2)隔離層隔離噪聲,所以噪聲低,成像質(zhì)量好。

    與CCD相比,CMOS的主要缺點(diǎn)是噪聲高及靈敏度低,因?yàn)镃MOS成像器件集成度高,各光電元件、電路之間距離很近,相互之間的光、電、磁干擾嚴(yán)重,噪聲對(duì)圖像質(zhì)量影響很大,開(kāi)始很長(zhǎng)一段時(shí)間無(wú)法進(jìn)入實(shí)用。后來(lái),噪聲的問(wèn)題用有源像素(Active Pixel)設(shè)計(jì)及噪聲補(bǔ)正線路加以降低。近年,隨著CMOS電路消噪技術(shù)的不斷進(jìn)展,為生產(chǎn)高密度優(yōu)質(zhì)的CMOS成像器件提供了良好的條件。已有廠商聲稱,所開(kāi)發(fā)出的技術(shù),成像質(zhì)量已不比CCD差。

    CMOS成像器件的靈敏度低,是因?yàn)橄袼夭糠置娣e被用來(lái)制作放大器等線路。在固定的芯片面積上,除非采用更精細(xì)的制造工藝,否則為了維持相當(dāng)水準(zhǔn)的靈敏度,成像器件的分辨率不能做得太高(反過(guò)來(lái)說(shuō),固定分辯率的傳感器,芯片尺寸無(wú)法做得太小)。但目前,利用0.18μm 制造技術(shù)己開(kāi)發(fā)出了4096×4096超高分辨率的CMOS圖像傳感器。

    總結(jié):

    什么是CCD成像傳感器? 

    CCD代表電荷耦合器件。 它是數(shù)字和機(jī)器視覺(jué)相機(jī)中用于捕捉靜止和移動(dòng)物體的一種傳感器。 CCD傳感器捕捉光線,并將其轉(zhuǎn)換為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)以轉(zhuǎn)換成圖像。 在CMOS圖像傳感器引入之前,CCD傳感器被工業(yè)機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)廣泛用于質(zhì)量檢查,檢查和控制。 

    什么是CMOS成像傳感器? 

    CMOS代表互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體,這是一種為集成電路供電的技術(shù)。 CMOS技術(shù)為當(dāng)今的許多電子設(shè)備提供動(dòng)力,包括電池,微處理器,數(shù)字和智能手機(jī)相機(jī)。 與CCD傳感器不同,CMOS傳感器不需要特殊的制造技術(shù)。 

    CCD和CMOS圖像傳感器的區(qū)別 

    與較新的CMOS傳感器不同,CCD傳感器需要特殊的制造,而這通常更昂貴。 因此,CCD傳感器通常具有非常高的質(zhì)量和光敏感性,能夠以較低的噪音提供清晰的圖像。 

    CMOS傳感器制造和使用大多數(shù)微處理器使用的傳統(tǒng)制造技術(shù)便宜。 他們也被認(rèn)為是更好的能源效率。 根據(jù)Jacob Fraden的“現(xiàn)代傳感器手冊(cè)”,CCD傳感器可以消耗高達(dá)100倍的相對(duì)CMOS圖像傳感器的功率。 

    簡(jiǎn)而言之,您很可能會(huì)找到一款配備CCD成像傳感器的相機(jī),其中光敏度是一個(gè)重要的因素,或者高質(zhì)量,高分辨率的圖像使所有的差異。

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    區(qū)分 CCD與CMOS圖像傳感器 

    由于其功率效率和成本效益,目前大多數(shù)生產(chǎn)環(huán)境使用CMOS傳感器驅(qū)動(dòng)的機(jī)器視覺(jué)相機(jī)。 隨著時(shí)間的推移,技術(shù)也在不斷發(fā)展,CMOS圖像傳感器現(xiàn)在可以生成噪聲較小的圖像。 CMOS傳感器上的每個(gè)像素都有自己的C2V(電荷 - 電壓)轉(zhuǎn)換,因此每個(gè)電荷都以數(shù)字方式輸出。 正因?yàn)槿绱耍珻MOS傳感器在處理速度和功率效率方面遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)。 

    CCD傳感器具有有限數(shù)量的節(jié)點(diǎn)來(lái)轉(zhuǎn)換傳感器上的每個(gè)像素電荷。 這會(huì)導(dǎo)致處理速度變慢。 但是,由于所有的像素都可以用于CCD結(jié)構(gòu)上的光線捕捉,因此整體輸出更加清晰明亮。 

    對(duì)于機(jī)器視覺(jué)而言,重要的KPI指處理速度和圖像噪聲。 CMOS傳感器允許每個(gè)像素進(jìn)行數(shù)字轉(zhuǎn)換,從而帶寬更低。 或者,高速CCD傳感器不像高速CMOS成像器那樣大規(guī)模并行。 結(jié)果,每個(gè)CCD放大器具有更高的帶寬,導(dǎo)致產(chǎn)生的圖像上更大的噪聲。 這就是為什么大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用都使用最新的CMOS傳感器,這種傳感器可以被設(shè)計(jì)成產(chǎn)生噪聲少得多的圖像。 

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    CMOS傳感器和GigE Vision 

    由于機(jī)器視覺(jué)和自動(dòng)化高度依賴于速度,EMVA引入了符合成像系統(tǒng)的機(jī)器視覺(jué)標(biāo)準(zhǔn),以確保使用最新技術(shù)加快處理速度。 GigE Vision是機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)的最新標(biāo)準(zhǔn),可確保在極高速度下實(shí)現(xiàn)最佳成像。 

    然而,CMOS圖像傳感器已經(jīng)進(jìn)一步遵從10 GigE機(jī)器視覺(jué)技術(shù)。 10 GigE Vision是最先進(jìn)的通信協(xié)議,比前一代處理速度高出十倍。 各種CMOS傳感器已被用于制造10 GigE機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng),包括最新的Sony Pregius CMOS圖像傳感器

    結(jié)合CMOS成像器的低噪聲,高速度和高功效性能,10 GigE機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)是旨在滿足超高速和快速移動(dòng)環(huán)境中的成像要求的性能強(qiáng)大的設(shè)備。 

    雖然CCD圖像傳感器在市場(chǎng)上已經(jīng)有了更長(zhǎng)的時(shí)間,而且成熟得多,但CMOS傳感器快速發(fā)展使其成為現(xiàn)代工業(yè)機(jī)器視覺(jué)的首選。

    CMOS傳感器的應(yīng)用范圍也越來(lái)越廣泛,包括手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)、視頻會(huì)議、電腦攝像頭、智能型安保系統(tǒng)、汽車倒車視像雷達(dá)等。拿工業(yè)生產(chǎn)來(lái)講,紅外圖像傳感器正在成為許多生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵部分。隨著紅外圖像傳感器成本的降低以及各類新技術(shù)的誕生,采用了新架構(gòu)和新算法的傳感器在工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮的作用越來(lái)越大,既能節(jié)約成本,又能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。 

    近年來(lái)對(duì)于CMOS圖像傳感器大的拉動(dòng),莫過(guò)于智能手機(jī)的普及。隨著CMOS圖像傳感器技術(shù)的進(jìn)步,包括背照式、堆棧式等技術(shù)的興起,以及雙攝像頭設(shè)計(jì)陸續(xù)出現(xiàn)并成為智能手機(jī)的新賣點(diǎn)。 

    今后,CMOS圖像傳感器的市場(chǎng)銷售額有望進(jìn)一步增長(zhǎng)。從產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)來(lái)看,無(wú)論是CCD還是CMOS,其體積小型化、智能化、高像素化仍是業(yè)界積極研發(fā)的目標(biāo)。將圖像傳感器 激光雷達(dá)組合來(lái)提供解決方案,有望贏得更多汽車廠商的青睞。 

    相機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)中,最重要的莫過(guò)于將檢測(cè)目標(biāo)的光學(xué)圖像,聚焦于獲得所有圖像信息的處理與分析。無(wú)論是CCD還是CMOS圖像傳感器,作為視覺(jué)系統(tǒng)中光電轉(zhuǎn)換的核心部件,鏡頭的質(zhì)量直接決定著視覺(jué)系統(tǒng)的整體性能,因此,選擇合適的鏡頭、設(shè)計(jì)成像光路是做好視覺(jué)系統(tǒng)的重要環(huán)節(jié)之一。

    圖像傳感器科普

    來(lái)源:馭勢(shì)資本

    1873年,科學(xué)家約瑟·美(Joseph May)及偉洛比·史密夫(WilloughbySmith)就發(fā)現(xiàn)了硒元素結(jié)晶體感光后能產(chǎn)生電流,由此,電子影像發(fā)展開(kāi)始,隨著技術(shù)演進(jìn),圖像傳感器性能逐步提升。
    1.20世紀(jì)50年代——光學(xué)倍增管(Photo Multiplier Tube,簡(jiǎn)稱PMT)出現(xiàn)。
    2.1965年-1970年,IBM、Fairchild等企業(yè)開(kāi)發(fā)光電以及雙極二極管陣列。
    3.1970年,CCD圖像傳感器在Bell實(shí)驗(yàn)室發(fā)明,依靠其高量子效率、高靈敏度、低暗電流、高一致性、低噪音等性能,成為圖像傳感器市場(chǎng)的主導(dǎo)。
    4.90年代末,步入CMOS時(shí)代。
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    圖像傳感器的歷史沿革——PMT

    1.光電倍增管(簡(jiǎn)稱光電倍增管或PMT),真空光電管的一種。工作原理是:由光電效應(yīng)引起,在PMT入射窗處撞擊光電陰極的光子產(chǎn)生電子,然后由高壓場(chǎng)加速,并在二次加工過(guò)程中在倍增電極鏈中倍增發(fā)射。
    2.光電倍增管是一種極其靈敏的光檢測(cè)器,可探測(cè)電磁波譜紫外,可見(jiàn)和近紅外范圍內(nèi)光源,提供與光強(qiáng)度成比例的電流輸出,廣泛應(yīng)用于驗(yàn)血,醫(yī)學(xué)成像,電影膠片掃描(電視電影),雷達(dá)干擾和高端圖像掃描儀鼓掃描儀中。
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    圖像傳感器的歷史沿革——CCD
    1.數(shù)字成像始于1969年,由Willard Boyle和George E. Smith于AT&T貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明。
    2.最初致力于內(nèi)存→“充電'氣泡'設(shè)備”,可以被用作移位寄存器和區(qū)域成像設(shè)備。
    3.CCD是電子設(shè)備,CCD在硅芯片(IC)中進(jìn)行光信號(hào)與電信號(hào)之間的轉(zhuǎn)換,從而實(shí)現(xiàn)數(shù)字化,并存儲(chǔ) 為計(jì)算機(jī)上的圖像文件。
    4.2009年, Willard Boyle和George E. Smith獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。

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    國(guó)際空間站使用CCD相機(jī)
    1.1997年,卡西尼國(guó)際空間站使用CCD相機(jī)(廣角和窄角)
    2.美國(guó)宇航局局長(zhǎng)丹尼爾戈?duì)柖》Q贊CCD相機(jī)“更快,更好,更便宜”;聲稱在未來(lái)的航天器上減少質(zhì)量,功率,成本,都需要小型化相機(jī)。而電子集成便是小型化的良好途徑,而基于MOS的圖像傳感器便擁有無(wú)源像素和有源像素(3T)的配置。

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    圖像傳感器的歷史沿革——CMOS圖像傳感器
    1.CMOS圖像傳感器使得“芯片相機(jī)”成為可能,相機(jī)小型化趨勢(shì)明顯。
    2.2007年,Siimpel AF相機(jī)模型的出現(xiàn)標(biāo)志著相機(jī)小型化重大突破。
    3.芯片相機(jī)的崛起為多個(gè)領(lǐng)域(車載,軍工航天、醫(yī)療、工業(yè)制造、移動(dòng)攝影、安防)等領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新提供了新機(jī)遇。

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    CMOS圖像傳感器走向商業(yè)化
    1.1995年2月,Photobit公司成立,將CMOS圖像傳感器技術(shù)實(shí)現(xiàn)商業(yè)化。
    2.1995-2001年間,Photobit增長(zhǎng)到約135人,主要包括:私營(yíng)企業(yè)自籌資金的定制設(shè)計(jì)合同、SBIR計(jì)劃的重要支持(NASA/DoD)、戰(zhàn)略業(yè)務(wù)合作伙伴的投資,這期間共提交了100多項(xiàng)新專利申請(qǐng)。
    3.CMOS圖像傳感器經(jīng)商業(yè)化后,發(fā)展迅猛,應(yīng)用前景廣闊,逐步取代CCD成為新潮流。

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    CMOS圖像傳感器的廣泛應(yīng)用
    2001年11月,Photobit被美光科技公司收購(gòu)并獲得許可回歸加州理工學(xué)院。與此同時(shí),到2001年,已有數(shù)十家競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手嶄露頭角,例如Toshiba,STMicro,Omnivision,CMOS圖像傳感器業(yè)務(wù)部分歸功于早期的努力促進(jìn)技術(shù)成果轉(zhuǎn)化。后來(lái),索尼和三星分別成為了現(xiàn)在全球市場(chǎng)排名第一,第二。后來(lái),Micron剝離了Aptina,Aptina被ON Semi收購(gòu),目前排名第4。CMOS傳感器逐漸成為攝影領(lǐng)域主流,并廣泛應(yīng)用于多種場(chǎng)合。

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    CMOS圖像傳感器發(fā)展歷程
    70年代:Fairchild
    80年代:Hitachi
    80年代初期:Sony
    1971年:發(fā)明FDA&CDS技術(shù)
    80年中葉:在消費(fèi)市場(chǎng)上實(shí)現(xiàn)重大突破;
    1990年:NHK/Olympus,放大MOS成像儀(AMI),即CIS
    1993年:JPL,CMOS有源像素傳感器,
    1998年:?jiǎn)涡酒鄼C(jī),2005年后:CMOS圖像傳感器成為主流。

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    CMOS圖像傳感器技術(shù)簡(jiǎn)介
    CMOS圖像傳感器
    CMOS圖像傳感器(CIS)是模擬電路和數(shù)字電路的集成。主要由四個(gè)組件構(gòu)成:微透鏡、彩色濾光片 (CF)、光電二極管(PD)、像素設(shè)計(jì)。

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    1.微透鏡:具有球形表面和網(wǎng)狀透鏡;光通過(guò)微透鏡時(shí),CIS的非活性部分負(fù)責(zé)將光收集起來(lái)并將其聚焦到彩色濾光片。
    2.彩色濾光片(CF):拆分反射光中的紅、綠、藍(lán) (RGB)成分,并通過(guò)感光元件形成拜爾陣列濾鏡。

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    3.光電二極管(PD):作為光電轉(zhuǎn)換器件,捕捉光并轉(zhuǎn)換成電流;一般采用PIN二極管或PN結(jié)器件制成。
    4.像素設(shè)計(jì):通過(guò)CIS上裝配的有源像素傳感器(APS)實(shí)現(xiàn)。APS常由3至6個(gè)晶體管構(gòu)成,可從大型電容陣列中獲得或緩沖像素,并在像素內(nèi)部將光電流轉(zhuǎn)換成電壓,具有較完美的靈敏度水平和的噪聲指標(biāo)。
    Bayer陣列濾鏡與像素
    1.感光元件上的每個(gè)方塊代表一個(gè)像素塊,上方附著著一層彩色濾光片(CF),CF拆分完反射光中的RGB成分后,通過(guò)感光元件形成拜爾陣列濾鏡。經(jīng)典的Bayer陣列是以2x2共四格分散RGB的方式成像,Quad Bayer陣列擴(kuò)大到了4x4,并且以2x2的方式將RGB相鄰排列。
    2.像素,即亮光或暗光條件下的像素點(diǎn)數(shù)量,是數(shù)碼顯示的基本單位,其實(shí)質(zhì)是一個(gè)抽象的取樣,我們用彩色方塊來(lái)表示。
    3.圖示像素用R(紅)G(綠)B(藍(lán))三原色填充,每個(gè)小像素塊的長(zhǎng)度指的是像素尺寸,圖示尺寸為0.8μm。
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    Bayer陣列濾鏡與像素
    濾鏡上每個(gè)小方塊與感光元件的像素塊對(duì)應(yīng),也就是在每個(gè)像素前覆蓋了一個(gè)特定的顏色濾鏡。比如紅色濾鏡塊,只允許紅色光線投到感光元件上,那么對(duì)應(yīng)的這個(gè)像素塊就只反映紅色光線的信息。隨后還需要后期色彩還原去猜色,最后形成一張完整的彩色照片。感光元件→Bayer濾鏡→色彩還原,這一整套流程,就叫做Bayer陣列。

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    前照式(FSI)與背照式(BSI)
    早期的CIS采用的是前面照度技術(shù)FSI(FRONT-SIDE ILLUMINATED),拜爾陣列濾鏡與光電二極管(PD)間夾雜著金屬(鋁,銅)區(qū),大量金屬連線的存在對(duì)進(jìn)入傳感器表面的光線存在較大的干擾,阻礙了相當(dāng)一部分光線進(jìn)入到下一層的光電二極管(PD),信噪比較低。技術(shù)改進(jìn)后,在背面照度技術(shù)BSI(FRONT-SIDE ILLUMINATED)的結(jié)構(gòu)下,金屬(鋁,銅)區(qū)轉(zhuǎn)移到光電二極管(PD)的背面,意味著經(jīng)拜爾陣列濾鏡收集的光線不再眾多金屬連線阻擋,光線得以直接進(jìn)入光電二極管;BSI不僅可大幅度提高信噪比,且可配合更復(fù)雜、更大規(guī)模電路來(lái)提升傳感器讀取速度。
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    CIS參數(shù)——幀率
    幀率(Frame rate):以幀為單位的位圖圖像連續(xù)出現(xiàn)在顯示器上的頻率,即每秒能顯示多少?gòu)垐D片。而想要實(shí)現(xiàn)高像素CIS的設(shè)計(jì),很重要的一點(diǎn)就是Analog電路設(shè)計(jì),像素上去了,沒(méi)有匹配的高速讀出和處理電路,便無(wú)辦法以高幀率輸出出來(lái)。
    索尼早于2007年chuan'gan發(fā)布了首款Exmor傳感器。Exmor傳感器在每列像素下方布有獨(dú)立的ADC模數(shù)轉(zhuǎn)換器,這意味著在CIS芯片上即可完成模數(shù)轉(zhuǎn)換,有效減少了噪聲,大大提高了讀取速度,也簡(jiǎn)化了PCB設(shè)計(jì)。
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    CMOS圖像傳感器的應(yīng)用

    CMOS圖像傳感器全球市場(chǎng)規(guī)模
    2017年為CMOS圖像傳感器高增長(zhǎng)點(diǎn),同比增長(zhǎng)達(dá)到20%。2018年,全球CIS市場(chǎng)規(guī)模155億美元,預(yù)計(jì)2019年同比增長(zhǎng)10%,達(dá)到170億美元。
    目前,CIS市場(chǎng)正處于穩(wěn)定增長(zhǎng)期,預(yù)計(jì)2024年市場(chǎng)逐漸飽和,市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到240億美元。
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    CIS應(yīng)用——車載領(lǐng)域
    1.車載領(lǐng)域的CIS應(yīng)用包括:后視攝像(RVC),全方位視圖系統(tǒng)(SVS),攝像機(jī)監(jiān)控系統(tǒng)(CMS),F(xiàn)V/MV,DMS/IMS系統(tǒng)。
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    2.汽車圖像傳感器全球銷量呈逐年增長(zhǎng)趨勢(shì)。
    3.后視攝像(RVC)是銷量主力軍,呈穩(wěn)定增長(zhǎng)趨勢(shì),2016年全球銷量為5100萬(wàn)臺(tái),2018年為6000萬(wàn)臺(tái),2019年預(yù)計(jì)達(dá)到6500萬(wàn)臺(tái)。
    4.FV/MV全球銷量增長(zhǎng)迅速,2016年為1000萬(wàn)臺(tái),2018年為3000萬(wàn)臺(tái),此后,預(yù)計(jì)FV/MV將依舊保持迅速增長(zhǎng)趨勢(shì),預(yù)計(jì)2019年銷量可達(dá)4000萬(wàn)臺(tái),2021可達(dá)7500萬(wàn)臺(tái),直逼RVC全球銷量。
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    車載領(lǐng)域——HDR技術(shù)方法
    1.HDR解決方案,即高動(dòng)態(tài)范圍成像,是用來(lái)實(shí)現(xiàn)比普通數(shù)位圖像技術(shù)更大曝光動(dòng)態(tài)范圍。
    2.時(shí)間復(fù)用。相同的像素陣列通過(guò)使用多個(gè)卷簾(交錯(cuò)HDR)來(lái)描繪多個(gè)邊框。好處:HDR方案是與傳統(tǒng)傳感 器兼容的最簡(jiǎn)單的像素技術(shù)。缺點(diǎn):不同時(shí)間發(fā)生的捕獲導(dǎo)致產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)偽影。
    3.空間復(fù)用。單個(gè)像素陣列幀被分解為多個(gè),通過(guò)不同的方法捕獲:1.像素或行級(jí)別的獨(dú)立曝光控制。優(yōu)點(diǎn):?jiǎn)螏械倪\(yùn)動(dòng)偽影比交錯(cuò)的運(yùn)動(dòng)偽影少。缺點(diǎn):分辨率損失,且運(yùn)動(dòng)偽影仍然存在邊緣。2.每個(gè)像素共用同一微透鏡的多個(gè)光電二極管。優(yōu)點(diǎn):在單個(gè)多捕獲幀中沒(méi)有運(yùn)動(dòng)偽影;缺點(diǎn):從等效像素區(qū)域降低靈敏度。
    4.非常大的全井產(chǎn)能。
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    車載領(lǐng)域——閃變抑制技術(shù)
    1.多個(gè)集成周期(時(shí)間多路傳輸)。在每個(gè)整合期內(nèi)對(duì)光電二極管充電進(jìn)行多次進(jìn)行采樣,樣品光電二極管比LED源頻率更高。
    2.多個(gè)光電二極管(空間多路復(fù)用)。使用較大的光電二極管捕捉較低的輕松的場(chǎng)景;使用較小的不靈敏光電二極管在整個(gè)幀時(shí)間內(nèi)集成(減輕LED閃爍)。
    3.每個(gè)像素由兩個(gè)光電二極管構(gòu)成。其中包含一個(gè)大的靈敏光電二極管和一個(gè)小的不靈敏光電二極管,小型不靈敏光電二極管可在整幀中合并,從而減輕LED閃爍。優(yōu)勢(shì)在于有出色的閃變抑制、計(jì)算復(fù)雜度低;劣勢(shì)在于更大更復(fù)雜的像素架構(gòu)、更復(fù)雜的讀數(shù)和電路定時(shí)、大型光電二極管和小型光電二極管和之間的光譜靈敏度不匹配。
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    車載領(lǐng)域——陣列攝像機(jī)
    1.陣列攝像機(jī)是一種新興的攝像機(jī)技術(shù),是指紅外燈的內(nèi)核為L(zhǎng)ED IR Array的高效長(zhǎng)壽的紅外夜視設(shè)備,可能是可行的LED檢測(cè)解決方案。
    2.用于LED檢測(cè)的低靈敏度攝像頭可以實(shí)現(xiàn)圖像融合的組合輸出,并能夠?qū)崿F(xiàn)單獨(dú)輸出,或同時(shí)輸出。主要優(yōu)勢(shì)在于亮度高、體積小、壽命長(zhǎng),效率高,光線勻。
    3.目前,陣列攝像機(jī)還面臨著諸多挑戰(zhàn)。首先,汽車光學(xué)對(duì)準(zhǔn)誤差難以保持溫度范圍;其次,圖像融合面向應(yīng)用和復(fù)雜的計(jì)算;最后,高靈敏度和低靈敏度圖像之間難以融合.
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    車載領(lǐng)域——機(jī)器視覺(jué)傳感器技術(shù)趨勢(shì)
    全局快門(mén)。CMOS傳感器有兩種快門(mén)方式,卷簾快門(mén)和全局快門(mén)。卷簾快門(mén)通過(guò)對(duì)每列像素使用A/D來(lái)提高讀取速度,每列像素?cái)?shù)量可達(dá)數(shù)千。任何一個(gè)轉(zhuǎn)換器數(shù)字化的像素總數(shù)顯著減少,從而縮短了讀取時(shí)間,提高了幀速率。但整個(gè)傳感器陣列仍必須轉(zhuǎn)換為一個(gè)一次排,這導(dǎo)致每行讀出之間的時(shí)間延遲很小。和機(jī)械式焦平面快門(mén)一樣,卷簾快門(mén)對(duì)高速運(yùn)動(dòng)的物體會(huì)產(chǎn)生明顯的變形。而且因?yàn)槠鋻呙杷俣缺葯C(jī)械式焦平面快門(mén)慢,變形會(huì)更加明顯;全局快門(mén)則大大改善了應(yīng)用于高度運(yùn)動(dòng)對(duì)象時(shí)的變形問(wèn)題。
    改進(jìn)的近紅外(NIR)響應(yīng)、高靈敏度濾色片陣列(RCCB)、數(shù)據(jù)加密處理、更高的幀速率、集成傳感和 處理、3D成像。
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    CIS應(yīng)用——手機(jī)領(lǐng)域

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    盡管2019智能手機(jī)銷量低迷,手機(jī)圖像傳感器的銷售也可實(shí)現(xiàn)約20%的增長(zhǎng)。
    隨著多鏡頭相機(jī)變得越來(lái)越普及,以及傳感器尺寸的增加。未來(lái)所有智能手機(jī)制造商都會(huì)發(fā)布具有比以往更具價(jià)值的傳感器型號(hào)。
    手機(jī)領(lǐng)域——手機(jī)攝像頭發(fā)展史
    主攝像頭:第一部拍照手機(jī)——智能手機(jī)——雙攝/多攝:2000年,夏普首次推出可拍照的手機(jī);隨后智能手機(jī)時(shí)代到來(lái),主攝像頭素質(zhì)不斷提升;目前,雙攝/多攝已成為主流。
    前置攝像頭:自拍——3D-sensing:前置攝像頭素質(zhì)同步提升,目前越來(lái)越多廠商加入人臉識(shí)別功能。
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    手機(jī)領(lǐng)域——手機(jī)攝像模組
    攝像模組構(gòu)成:
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    CMOS——決定照片質(zhì)量的關(guān)鍵因素

    手機(jī)領(lǐng)域——主攝像素升級(jí)
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    手機(jī)領(lǐng)域——CMOS迭代升級(jí)
    1.隨著技術(shù)的發(fā)展,越來(lái)越多的手機(jī)開(kāi)始注重拍照的硬件升級(jí)。攝像頭和CMOS成為了產(chǎn)品突出差異性的賣點(diǎn)之一。拋開(kāi)鏡頭差異,成像質(zhì)量與CMOS大小成正比,主攝像素提升推動(dòng)CMOS迭代升級(jí)。
    2.隨著技術(shù)的發(fā)展,手機(jī)的CMOS也在日益增大,1/1.7英寸級(jí)的CMOS如今成為手機(jī)攝像頭傳感器的新選擇。而更多手機(jī)也用上了1/2.3英寸級(jí)的傳感器。
    3.作為手機(jī)CMOS最大的上游供應(yīng)商,也研發(fā)出了堆棧結(jié)構(gòu)的CMOS。它在傳統(tǒng)的感光層與底部電路之間增加了一層DRAM動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器,從而讓感光元件具備短時(shí)間拍攝大數(shù)據(jù)量影像的能力。
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    手機(jī)領(lǐng)域——光學(xué)變焦趨勢(shì)
    手機(jī)攝像頭過(guò)去以像素升級(jí)為主;受CMOS尺寸限制,手機(jī)攝像開(kāi)始注重變焦能力。
    變焦有光學(xué)變焦與數(shù)碼變焦兩種。光學(xué)變焦通過(guò)光學(xué)原理調(diào)整焦距,成像畫(huà)質(zhì)無(wú)損。數(shù)碼變焦就是通過(guò)軟件算法來(lái)放大/縮小,通過(guò)插值計(jì)算,成像有損,有較多噪點(diǎn)。
    為了進(jìn)一步提升手機(jī)成像素質(zhì),注重變焦能力;而傳統(tǒng)專業(yè)相機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)無(wú)法移植到手機(jī)上。手機(jī)變焦往往會(huì)采用“雙攝變焦”,采用兩個(gè)定焦鏡頭,利用其物理焦距的不同,實(shí)現(xiàn)變焦效果;顯然,單攝已經(jīng)無(wú)法滿足對(duì)光學(xué)變焦的需求了。
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    手機(jī)領(lǐng)域——第四個(gè)攝像頭:3D-sensing
    目前主流的3D深度攝像主流有兩種種方案:結(jié)構(gòu)光、TOF。iPhone采用前者,華為采用后置。
    結(jié)構(gòu)光(Structured Light):結(jié)構(gòu)光投射特定的光信息到物體表面后,由攝像頭采集。根據(jù)物體造成的光信號(hào)的變化來(lái)計(jì)算物體的位置和深度等信息,進(jìn)而復(fù)原整個(gè)三維空間。
    TOF(Time Of Flight):TOF系統(tǒng)是一種光雷達(dá)系統(tǒng),可從發(fā)射極向?qū)ο蟀l(fā)射光脈沖,接收器則可通過(guò)計(jì)算光脈沖從發(fā)射器到對(duì)象,再以像素格式返回到接收器的運(yùn)行時(shí)間來(lái)確定被測(cè)量對(duì)象的距離。
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    手機(jī)領(lǐng)域——手機(jī)攝像模組數(shù)量
    單只手機(jī)攝像模組需求量增加
    從傳統(tǒng)的單攝,到雙攝市場(chǎng)滲透率逐漸成為市場(chǎng)主流,再到三攝、全隱藏式攝像頭、3D攝像頭的創(chuàng)新式開(kāi)拓,單只手機(jī)攝像模組的需求看漲。
    iPhone X、小米8、OPPO FIND X、三星Galaxy S9 單 只攝像模組需求量均為4,;此外,華為P20 Pro和Mate20  Pro均配備5組攝像模組。
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    手機(jī)領(lǐng)域——多攝帶動(dòng)CMOS用量提升
    根據(jù)Yole的統(tǒng)計(jì)顯示,平均每部智能手機(jī)CMOS圖像傳感器數(shù)量在2024年將達(dá)到3.4個(gè),年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)到6.2%。
    手機(jī)攝像頭數(shù)量增加,CIS出貨量成倍增長(zhǎng)。為了提高照相畫(huà)質(zhì),手機(jī)引入了雙攝、甚至三攝、四攝。
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    安防領(lǐng)域——視頻監(jiān)視技術(shù)發(fā)展歷程
    閉路電視監(jiān)控系統(tǒng)發(fā)展歷程:錄像帶錄像機(jī)(VCR)→數(shù)字視頻錄像機(jī)(DVR)→網(wǎng)絡(luò)視頻錄像機(jī)(NVR)。視頻監(jiān)控系統(tǒng)越來(lái)越復(fù)雜,性能也不斷升級(jí)。
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    安防領(lǐng)域——當(dāng)前監(jiān)控?cái)z像機(jī)類型
    高清攝像頭中使用的圖像傳感器對(duì)分辨率的要求較高,在60幀/秒等高幀率下能夠?qū)崿F(xiàn)720P或1080P的清晰度。
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    寬動(dòng)態(tài)范圍攝像機(jī)的芯片上集成寬動(dòng)態(tài)范圍攝像技術(shù)以及圖像處理技術(shù),能在極暗和極亮環(huán)境下拍攝。
    3D立體攝像級(jí)具有在動(dòng)態(tài)光環(huán)境中保持追蹤精度的能力,可與視頻分析技術(shù)配合使用。
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    3D立體攝像級(jí)具有在動(dòng)態(tài)光環(huán)境中保持追蹤精度的能力,可與視頻分析技術(shù)配合使用。
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    安防領(lǐng)域——紅外線攝像技術(shù)
    紅外線攝像技術(shù)分為被動(dòng)和主動(dòng)兩種類型。
    被動(dòng)型:拍攝對(duì)象自身發(fā)射紅外光被攝像機(jī)接受以成像。這類設(shè)備昂貴并且對(duì)周圍環(huán)境不能良好反映,所以在夜視系統(tǒng)中基本不采用。
    主動(dòng)型:配置有紅外燈主動(dòng)向外發(fā)射紅外輻射,使紅外攝像機(jī)接收反射回來(lái)的紅外光,增強(qiáng)夜視能力。目前紅外攝像機(jī)基本都配置LED紅外發(fā)光二級(jí)管。
    圖片主動(dòng)型紅外攝像機(jī)包含攝像機(jī)、防護(hù)罩、紅外燈、供電散熱單元。它貼切的名稱為紅外線增強(qiáng)攝像機(jī)。感光元件的頻譜足夠?qū)挄r(shí)能對(duì)紅外線到可見(jiàn)光的連續(xù)譜產(chǎn)生感應(yīng),形成包括紅外線在內(nèi)的光敏感。在普通可見(jiàn)光強(qiáng)下,寬范圍感光元件增加了紅外頻段,在弱光條件下,也能獲得清楚的圖像。

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    安防領(lǐng)域——紅外光成像
    紅外線攝影術(shù)以成像為目標(biāo)。伴隨著電子與化學(xué)科技的進(jìn) 展,紅外線攝像技術(shù)逐漸演化出三個(gè)方向。
    1.近紅外線底片:感應(yīng)范圍為波長(zhǎng)700nm~900nm。在成像乳劑中加入特殊染料,利用光化學(xué)反應(yīng),使這一波域的光變化轉(zhuǎn)為化學(xué)變化從而形成影像。
    2.近紅外線電子感光材料:感應(yīng)范圍為波長(zhǎng)700nm~2,000nm。利用含硅化合物晶體的光電反應(yīng)形成電子信號(hào), 進(jìn)過(guò)進(jìn)一步處產(chǎn)生影像。
    3.中、遠(yuǎn)紅外線線感應(yīng)材料:感應(yīng)范圍為波長(zhǎng)3,000nm~14,000nm。需要 使用冷卻技術(shù)和特殊的光學(xué)感應(yīng)器, 加工處理形成電子影像。
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    安防領(lǐng)域——全球市場(chǎng)規(guī)模
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    全球紅外攝像機(jī)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模在2017年近30億美元,其中商用攝像機(jī)市場(chǎng)規(guī)模20億美元,軍用攝像機(jī)市場(chǎng)規(guī)模10億美元。預(yù)計(jì)2016-2022年商用領(lǐng)域紅外攝像機(jī)市場(chǎng)規(guī)模年均復(fù)合增長(zhǎng)率為5.6%,軍用領(lǐng)域的年均復(fù)合增長(zhǎng)率為 8.8%。2022年市場(chǎng)總規(guī)模將近43億美元。
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    全球安防攝像機(jī)市場(chǎng)銷量在2015年約28萬(wàn)件,其中監(jiān)視攝像機(jī)約8萬(wàn)件,安保系統(tǒng)攝像機(jī)約20萬(wàn)個(gè)。預(yù)計(jì)到2021年安防攝像機(jī)市場(chǎng)銷量約64萬(wàn)件,其中監(jiān)視攝像機(jī)約22萬(wàn)件,年均復(fù)合增長(zhǎng)率為18%,安保系統(tǒng)攝像機(jī)約42萬(wàn)個(gè),年均復(fù)合增長(zhǎng)率約13%。
    圖像傳感器應(yīng)用——醫(yī)療影像
    與其他具有更高產(chǎn)量和更高成本敏感性的市場(chǎng)相比,圖像傳感器在醫(yī)療影像市場(chǎng)應(yīng)用有其鮮明的特點(diǎn):其封裝步驟通常由設(shè)備制造商控制。
    圖像傳感器技術(shù)正逐漸在行業(yè)中創(chuàng)造顛覆性力量,從2014年開(kāi)始,市場(chǎng)發(fā)展迅速,行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)加劇:韓國(guó)和中國(guó)出現(xiàn)更多新參與者,成為現(xiàn)有大型企業(yè)的潛在障礙,行業(yè)完全整合的可能性降低。
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    圖像傳感器在醫(yī)療影像市場(chǎng)具有多元應(yīng)用場(chǎng)景:X-ray、內(nèi)窺鏡、分子成像、光學(xué)相干斷層掃描以及超聲成像。
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    醫(yī)療影像——市場(chǎng)規(guī)模
    醫(yī)療成像設(shè)備行業(yè)是一個(gè)巨大的350億美元的市場(chǎng),2016-2022年預(yù)計(jì)復(fù)合年增長(zhǎng)率達(dá)5.5%。
    2016年,醫(yī)療傳感器市場(chǎng)規(guī)模3.5億美元,預(yù)計(jì)2016-2022年復(fù)合增長(zhǎng)率8.3%,到2022年將達(dá)6億美元。
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    根據(jù)應(yīng)用技術(shù)不同,醫(yī)療圖像傳感器可分為CCD, CIS,a-Si FPD(非晶硅薄膜晶體管平面探測(cè)器),a-Se FPD(非晶硒薄膜晶體管平板探測(cè)器),SiPM(硅光電倍增管)、cMUT(電容微機(jī)械超聲換能器)和pMUT(壓電微機(jī)械超聲換能器)。
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    醫(yī)療影像——市場(chǎng)規(guī)模
    CMOS傳感器憑借其在通過(guò)更小的像素尺寸獲得更高分辨率、降低噪聲水平和暗電流以及低成本方面的優(yōu)越性在醫(yī)療影像領(lǐng)域得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用,未來(lái)市場(chǎng)看漲。
    CCD市場(chǎng)保持穩(wěn)定。醫(yī)用a-Si FPD因其簡(jiǎn)單性和大面板內(nèi)置能力仍應(yīng)用廣泛;SiPM專用于分子成像;cMUT用于超聲成像,可提供更高分辨率,更高速度和實(shí)時(shí)3D成像。
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    醫(yī)療影像——產(chǎn)業(yè)鏈
    目前,CMOS圖像傳感器主要應(yīng)用于X-Ray以及內(nèi)窺鏡領(lǐng)域。
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    CIS醫(yī)療影像應(yīng)用——X-Ray
    X射線成像的第一次應(yīng)用是在醫(yī)療領(lǐng)域,由Wilhelm于1895年完成。如今,X射線成像技術(shù)應(yīng)用已拓展到工業(yè)無(wú)損檢測(cè)(NDT)以及安全領(lǐng)域。但醫(yī)療市場(chǎng)仍是X-Ray射線成像的主力應(yīng)用場(chǎng)景。
    X-Ray探測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模
    2018年X射線探測(cè)設(shè)備市場(chǎng)價(jià)值20億美元,預(yù)計(jì)2018-2024年復(fù)合年增長(zhǎng)率5.9%,2024年達(dá)到28億美元。
    2018年,醫(yī)療領(lǐng)域市值達(dá)14.8億美元,占比約74%,預(yù)計(jì)2017-2024年復(fù)合增長(zhǎng)率4.5%,2024年市值達(dá)19億美元。
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    目前,X射線成像幾乎完全基于半導(dǎo)體技術(shù)。使用非晶硅(aSi)和CMOS的平板探測(cè)器占據(jù)了市場(chǎng)的最大份額,其次是硅光電二極管陣列探測(cè)器。預(yù)計(jì)銦鎵鋅氧化物(IGZO)平板將于2021年進(jìn)入市場(chǎng),直接與aSi和CMOS競(jìng)爭(zhēng),但CMOS仍然是主流應(yīng)用。
    2018年,以CMOS X-Ray成像設(shè)備市場(chǎng)收入2.45億美元,預(yù)計(jì)2024年將增長(zhǎng)到5.1億美元,年復(fù)合增長(zhǎng)率13%。
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    CIS醫(yī)療市場(chǎng)應(yīng)用——內(nèi)窺鏡
    內(nèi)窺鏡檢查不但能以最少的傷害,達(dá)成觀察人體內(nèi)部器官的目的,也能切取組織樣本以供切片檢查,或取出體內(nèi)的異物。二十世紀(jì)末微創(chuàng)手術(shù)的發(fā)展進(jìn)一步促進(jìn)了內(nèi)窺鏡的應(yīng)用。
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    普通電子內(nèi)窺鏡:將微型圖像傳感器在內(nèi)窺鏡頂部代替光學(xué)鏡頭,通過(guò)電纜或光纖傳輸圖像信息。電子內(nèi)窺鏡與光纖內(nèi)窺鏡類似,有角度調(diào)節(jié)旋鈕、充氣及沖水孔、鉗道孔、吸引孔和活檢孔等。
    CMOS電子內(nèi)窺鏡:照明光源通過(guò)濾色片,變成單色光,單色光通過(guò)導(dǎo)光纖維直達(dá)電子內(nèi)窺鏡前部,再通過(guò)照明鏡頭照在受檢體的器官粘膜。器官粘膜反射光信號(hào)至非球面鏡頭,形成受檢部位的光圖像,CMOS圖像傳感器接收光圖像,將其轉(zhuǎn)換成電信號(hào),再由信號(hào)線傳至視頻處理系統(tǒng),經(jīng)過(guò)去噪、儲(chǔ)存和再生,顯示在監(jiān)控屏幕上。CMOS電子內(nèi)窺鏡可得到高清晰度圖像,無(wú)視野黑點(diǎn)弊端,易于獲得病變觀察區(qū)信息。
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    CIS模塊的小型化是其應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)備的關(guān)鍵,特別是對(duì)于較小的柔性視頻內(nèi)窺鏡。如喉鏡,支氣管鏡,關(guān)節(jié)鏡,膀胱鏡,尿道鏡和宮腔鏡。
    小直徑視頻內(nèi)窺鏡發(fā)展歷程
    背面照明(BSI)技術(shù)成功地提高了CIS模塊的靈敏度,使得更小像素成為可能。
    新開(kāi)發(fā)的圖像傳感器封裝(如硅通孔(TSV)技術(shù))可最大限度地減少CIS模塊所需的占位面積。
    微電子器件微裝配的進(jìn)步也促進(jìn)了CIS的小型化。
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    索尼圖像傳感器發(fā)展歷程

    發(fā)展CIS以來(lái),索尼相繼開(kāi)發(fā)出背照式CIS,推出2層/3層堆疊技術(shù),從數(shù)碼相機(jī)市場(chǎng)切入手機(jī)傳感器市場(chǎng),搶占市場(chǎng)份額。
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    索尼圖像傳感器
    索尼將CCD推向世界后,一直在不斷創(chuàng)新圖像傳感器。索尼公司正在推動(dòng)小型高性能圖像傳感器的進(jìn)一步發(fā)展:高靈敏度背光CMOS圖像傳感器和堆疊式CMOS圖像傳感器。索尼的圖像傳感器有助于提高全球數(shù)碼相機(jī)的吸引力。索尼圖像傳感器應(yīng)用在相機(jī),移動(dòng)終端,自動(dòng)駕駛,安防,工業(yè)領(lǐng)域等多個(gè)領(lǐng)域。
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    索尼Exmor——柱并聯(lián)A/D轉(zhuǎn)換電路
    Exmor是索尼2007年推出的一項(xiàng)新技術(shù),用于片上模擬到數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換,即由傳統(tǒng)的外置ADC升級(jí)為內(nèi)置ADC。
    外置ADC傳感器傳輸數(shù)據(jù)時(shí),每列像素產(chǎn)生的信號(hào)先通過(guò)降噪電路,匯聚后再通過(guò)外部總線傳輸?shù)絾蝹€(gè)或數(shù)個(gè)ADC之中。而Exmor每列像素都內(nèi)置一個(gè)ADC,數(shù)量多,且可在低頻下運(yùn)行,可有效減少噪聲,并實(shí)現(xiàn)高速提取。此外,內(nèi)置ADC使得Exmor輸出的數(shù)字信號(hào),抗干擾性強(qiáng),更易于長(zhǎng)距離布線。IMX035是此系列推出的首款產(chǎn)品。
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    索尼Exmor R——背照式CIS
    2008年,索尼推出Exmor R系列,采用BIS(背照式)設(shè)計(jì),是第一款推出該技術(shù)的傳感器。FIS(FRONT-SIDE ILLUMINATED,前照式)結(jié)構(gòu)下,Bayer陣列濾鏡與光電二極管(Photo-diode)之間存在大量金屬連線,阻隔了大量光線進(jìn)入感光層。而在BIS結(jié)構(gòu)下,金屬連線被轉(zhuǎn)移到光電二極管(Photodiode)的背面,光線不再被阻擋,信噪比大幅度提高,而且可以采用更復(fù)雜、更大規(guī)模電路來(lái)提升傳感器讀取速度。
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    索尼Exmor RS——CIS堆棧技術(shù)
    二堆疊:2012年,索尼推出Exmor RS系列,該系列采用堆疊式結(jié)構(gòu)(Stacked Structure)。BIS結(jié)構(gòu)下,Bayer陣列周圍依然存在大量電路,而此堆疊式結(jié)構(gòu)通過(guò)TSV(Through Silicon Via,硅通孔)技術(shù)連接到另一張芯片,實(shí)現(xiàn)將信號(hào)處理電路疊放于像素區(qū)下方。
    三堆疊:2017年2月,索尼宣布推出業(yè)內(nèi)首個(gè)配備DRAM的三層堆疊式CIS,可在失真度最小化的情況下高速讀取靜態(tài)圖片,支持在全高清模式下拍攝幀率最大為1000fps的慢動(dòng)作視頻。新款CIS在傳統(tǒng)兩層堆疊結(jié)構(gòu)中間新加入DRAM層,用于緩存、讀取、處理圖像信息;此外,為了實(shí)現(xiàn)高速讀取,用于將模擬視頻信號(hào)從像素轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)的電路已經(jīng)從2層結(jié)構(gòu)倍增到4層結(jié)構(gòu)。
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    索尼——相機(jī)端CIS
    SLVS-EC是索尼與2018年開(kāi)發(fā)的串行總線,單個(gè)通道帶寬較高。但I(xiàn)MX410未采用堆棧技術(shù),像素也不高。索尼半導(dǎo)體再?zèng)]有提供高像素的全幅CIS,甚至取消了36MP的IMX-094,鑒于Z7、S1R存在,索尼半導(dǎo)體高像素全幅CIS可能改為定制提供。
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    索尼——相機(jī)端CIS應(yīng)用
    介質(zhì)格式傳統(tǒng)上指靜物攝影中的膠片格式以及使用膠片的相關(guān)照相機(jī)和設(shè)備。包括6x4.5厘米(有時(shí)介質(zhì)格式稱為“64格式”),6x6、6x7、6x8、6x12、6x17cm…在數(shù)字?jǐn)z影中,介質(zhì)格式是指根據(jù)介質(zhì)格式膠片攝影使用而改編的照相機(jī),或者是指使用大于35mm膠片框的傳感器的照相機(jī)。此外,我們還發(fā)布了3.4(44x33毫米)和4.2(53x40毫米)型圖像傳感器,像素為100M或150M。
    360度高質(zhì)量成像主要產(chǎn)品為IMX533,9M像素,像素尺寸為3.76μm。
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    索尼——移動(dòng)端CIS
    HDR解決方案有時(shí)間多路傳輸交錯(cuò)HDR方案及空間多路復(fù)用交錯(cuò)HDR方案。當(dāng)不同的捕獲時(shí)刻對(duì)象處于不同的位置時(shí),時(shí)間復(fù)用交錯(cuò)HDR方案首次了解由于場(chǎng)景中的運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)偽影(重影)。圖像偽影的存在是因?yàn)槊總€(gè)捕獲對(duì)象的分辨率的降低。而具有拆分像素(多個(gè)像素,每個(gè)像素即光電二極管分享同樣的東西)可以減輕偽影的影響。
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    索尼——移動(dòng)端CIS應(yīng)用
    穩(wěn)定相機(jī)震動(dòng)。高靈敏度傳感器和短曝光時(shí)間是防止相機(jī)抖動(dòng)和穩(wěn)定圖像的有效方法。背面照明傳感器比正面照明傳感器具有更高靈敏度。同樣,在相同像素結(jié)構(gòu)下具有更大的光學(xué)尺寸。
    索尼CMOS圖像傳感器配備了標(biāo)準(zhǔn)的2x2平均模式,相當(dāng)于比像素大四倍的像素大小,有助于在分辨率(圖像大小)降低到1/4時(shí)防止相機(jī)抖動(dòng)。
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    高速視頻。隨著CIS像素?cái)?shù)和速度的增加,高速視頻拍攝成為現(xiàn)實(shí)。在拍攝快速移動(dòng)物體時(shí),需要降低幀速率和曝光時(shí)間以避免運(yùn)動(dòng)模糊。索尼通過(guò)4個(gè)像素的計(jì)算處理將其高靈敏度的BI技術(shù)將信噪比提高了兩倍,使其能夠以四倍的速度拍攝。
    索尼的800萬(wàn)像素產(chǎn)品能夠以180 fps(720p高清圖像)或240 fps(960x540(Quaterhd)圖像)輕松拍攝高速電影。適用產(chǎn)品:IMX219PQ
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    附:索尼CMOS傳感器架構(gòu)的演變

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