半導體自動氣柜操作小貼士

氣柜Gas Cabinet：指用來放置鋼瓶，安全供氣，以達到氣體同周圍環境隔離的裝置，主要用于有毒氣體（如CO）、腐蝕性氣體（如HCl）、易燃易爆氣體（如SiH4）、氧化性氣體（如Cl2）等危險性氣體的供應。

氣架Gas Panel：指由各種閥門，管件，儀表組成的，由管道連接在一起的，用來連接鋼瓶以便安全供氣的盤面裝置。

GC關鍵閥門部件名次縮寫

• HPI—High Pressure Isolation Valve 高壓隔離閥

• HPV—High Pressure Vent Valve 高壓排空閥

• PGI—Purge Gas Isolation Valve 吹掃氣隔離閥

• VVS—Vacuum Venturi Supply Valve 文丘里抽真空閥

• LPV—Low Pressure Vent Valve 低壓排放閥

• MPLI—Manual Process Line Isolation Valve 工藝氣手動隔離閥

• PLI—Low Pressure Isolation Valve 低壓隔離閥

• REG—Process Gas Pressure Regulator 工藝氣調壓閥

氣柜P&ID舉例

勞動防護用品PPE：

在日常鋼瓶更換過程中，需要使用到的個人防護用品有：安全勞防用鞋、阻燃服、化學防護手套（防酸手套）、自助式呼吸器SCBA、面罩、防火手套、防火服、頭盔、橡膠手套、安全防護眼鏡、潔凈服（潔凈室使用）等。

工具及耗材：

在日常鋼瓶更換過程中，需要使用到的工具有：12 寸扳手、扭力矩扳手、斜口鉗、Snoopy 檢漏液，需要使用的消耗品有：潔凈手套、墊片、無塵布等。

氣瓶更換一般注意事項

• 只有經過訓練被允許操作的人員，才能使用操作氣柜等氣體供應設備；
  

• 除惰性氣體鋼瓶更換外，每個鋼瓶的更換必須雙人作業，一人操作，一人監護；

• 在操作之前必須確認安全的防護工具已經準備好。

氣瓶更換流程

吹掃模式簡介

    對于自動氣柜來說，通常有3 種自動吹掃模式，分別為Cylinder purge 鋼瓶吹掃、Regulator purge 調壓閥吹掃、Line purge 管路吹掃，這幾種吹掃的適用范圍如下：

 Cylinder purge 鋼瓶吹掃

• Cylinder purge 是指針對鋼瓶接口至高壓隔離閥HPI 段的管路進行吹掃，用于除維修、初次供氣、歲修等特殊操作。

Regulator purge 調壓閥吹掃

• Regulator purge 是指針對鋼瓶接口至面板手閥段的管路進行吹掃，故也稱面板吹掃，一般用于氣柜維修時對氣柜的面板管路進行吹掃，在零部件更換等維修操作前后進行，以保證面板管路部分的水分、顆粒度等指標達到供氣要求。

Line purge 管路吹掃

• Line purge 是指針對鋼瓶接口至機臺使用端的管路進行吹掃，一般用于設備初次供氣和機臺歲修等特殊情況，這種情況下需要保證氣柜至機臺端的整個管路部分的水分、顆粒度等指標達到供氣要求。

典型的氣柜Purge流程

氣柜測漏推薦標準

吹掃次數的典型設定

• (a)對于低壓氣體 (如 WF6, DCS, BCl3,ClF3等) 需要進行更多的吹掃循環

• (b)對于大宗特氣供應系統，基于管路容積、流體阻力等要素，吹掃次數可適當增加吹掃次數

備注：許多變量如氣體性質、pigtail 端容積、放空設備，分配系統特性都會影響前吹的次數。

注：如有侵權請告知，謝謝