第一幕:NAND基礎背景 NAND根據cell包含bit的數目分為SLC、MLC、TLC, NAND里面所有cell的狀態采用VT分布圖展示,如下圖, SLC包含1 bit,有1,0兩個狀態, MLC包含2 bit,有11,10,00,01四個狀態, TLC包含3 bit,有111,011,001,101,100,000,010,110八個狀態。 注:橫坐標:NAND cell的閾值電壓Vt; 縱坐標:每一個Vt對應的bit數目。 讀(Read): 在需要read的target Page的WL上面加一個R1(一個較小的電壓),其他WL的加VpassR, BL方向加1V, 寫(Program): 在控制柵CG加上一個高壓20V,基底接0V, 由于電場的存在以及隧穿效應,電子會被俘獲在浮柵FG,也就完成了單個Cell的Program操作。 Program之后cell的狀態為“0”。 在控制柵CG接0V,基底加上一個高壓20V, 由于電場的存在以及隧穿效應,電子逃離浮柵FG,也就完成了單個Cell的Erase操作。 對NAND可靠性影響很大的效應主要有:Read disturb,Program disturb,P/E Endurance以及Data Retention。 我們在第一幕介紹Read操作的時候提到,Read過程中,需要在Non-Target WL上加一個VpassR, 如果對一個Block里面的Page連續Read很多次的話,就相當于在某一WL一直會有VpassR的Stress。 提一下SILC效應: SILC(Stress Induced Leakage Current)是壓力誘導漏電流,由于Stress的影響,在Gate氧化層做成缺陷,缺陷會俘獲電子。 在Program時,需要在WL加一個高壓20V左右,由于高壓的存在會造成其他BL上電子隧穿進入浮柵,再加上由于缺陷引起漏電以及GIDL效應的存在,最后的結果就是Program cell周圍的Cell的Vt會向右偏移。 GIDL(gated-induce drain leakage) 是指柵誘導漏極泄漏電流,當柵漏交疊區處柵漏電壓 VDG很大時,交疊區界面附近硅中電子在價帶和導帶之間發生帶帶隧穿形成電流,我們把這種電流稱之為 GIDL 隧穿電流。隨著柵氧化層越來越薄,GIDL 隧穿電流急劇增加。 評判一顆NAND的壽命,P/E cycle是一個關鍵參數。在不斷寫入與擦除的過程中,器件的氧化層會慢慢變薄,電子的隧穿效應會更容易,最后造成的現象就是VT向右偏移。 在NAND經歷一段高溫測試之后,電子會逃離浮柵,造成Vt向左偏移。在加上SILC的影響,Vt出現偏移。 ![]() Seiichi Aritome, NAND Flash Memory Technologies. |
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